アセタール骨格を有する環境適応型感光性ポリイミドの合成と性能試験

2000 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 11555247
• Research Institution: Tokyo Institute of Technology
• Principal Investigator: 柿本 雅明 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (90152595)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 河本 憲治 凸版印刷, 材料研究所, 主幹研究員
• Keywords: 感光性 / フォトレジスト / 芳香族ポリイミド / 直接重縮合法 / アセタール / 光酸発生剤 / 吸収 / 酸分解

Research Abstract

本年度は引き続きアセタール構造を含むポリイミドモノマーであるジアミン体の合成を行った。新規な構造として、ジフェニルベンザル基を有するジアミンの合成を行ったが、このものの結晶性が以上に低く、多くの困難を伴った。
一方、ジアミンを経由しない方法として、イミド骨格を有するビフェノールとベンザルクロリドとの反応の可能性に着手した。この方法は来年度の主たる研究になると思われる。
感光性を直接担う光酸発生剤として、長波長領域に吸収のあるものを合成して使用していたが、発生する酸がスルホン酸であり、けっして強力な酸であるとは言い難かった。そこで、新たに強酸であるフッ化ホウ素酸が発生する光酸発生剤を合成した。
ヘキフルオロイソプロピリデン骨格をもつ酸無水物とのポリマーはアミド系溶媒、THFなどに可溶であり、これを用いて光照射によるパターニングを行った。このポリイミドのg線(436nm)、i線(365nm)に対する透過率はそれぞれ95%、61%であった。光酸発生剤存在下でg線を照射するとポリイミドフィルムのUV-visスペクトルが変化し、150mJ/cm^2でほぼ完全に反応が進行することが確認できた。光酸発生剤を30wt%混合した系ではアルカリ現像によりパターン形成が可能であった。現像後の加熱処理により残存する光酸発生剤を系外に除去することができた。

Research Products

• [Publications] 寺境光俊,柿本雅明: "分岐ポリマーのテクノロジー"アイピーシー. 212 (2000)
• [Publications] 寺境光俊,柿本雅明: "デンドリマーの科学と機能"アイピーシー. 320 (2000)