アセタール骨格を有する環境適応型感光性ポリイミドの合成と性能試験

2001 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 11555247
• Research Institution: Tokyo Institute of Technology
• Principal Investigator: 柿本 雅明 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (90152595)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 河本 憲治 凸版印刷材料研究所, 主幹研究員
• Keywords: トリフルオロメチル基 / p-ニトロフェニルアセター / テトラカルボン酸二無水物 / ポリアミド酸 / ポリイミド / トリメリット酸クロリド

Research Abstract

新規なモノマーとしてトリフルオロメチル基をオルト位に導入したベンズアルデヒドから出発してP-ニトロフェニルアセタール構造を構築し、ジアミノ体へ還元して合成した。新規なアセタールを有するジアミンと種々のテトラカルボン酸二無水物との反応でポリアミド酸を得、さらにアセタール構造を含むポリイミドフィルムを得た。得られてフィルムは有機溶媒に溶解するため、ポリイミドで直接フィルムを作製できる。得られたフィルムにg線を使用してパターニングを行ったところ良好なパターンを得ることができた。
つぎに、アセタールを有するジアミンとトリメリット酸クロリドとの反応で、アミド一酸無水物モノマーを新たに合成し、種々のジアミンと反応させてポリアミド酸を得、さらにアセタール構造を含むポリイミドフィルムを得た。得られたポリイミドは良好な耐熱性を有し、さらに有機溶媒に可溶なことから、簡便に製膜してパターンニングできる材料を作製できた。