走査型X線分析顕微鏡を発展させた蛍光X線・回折X線顕微鏡の開発

2000 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 11559006
• Research Institution: Nagoya University
• Principal Investigator: 高野 雅夫 名古屋大学, 大学院・理学研究科, 助教授 (90262849)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 細川 好則 (株)堀場製作所, 分析システム統括部, 研究員
• Keywords: 蛍光X線 / 回折X線 / 走査型X線分析顕微鏡 / 冷却CCD / Si-PIN検出器

Research Abstract

本研究の目的は、走査型X線分析顕微鏡を発展させて、蛍光X線のイメージングとともに、回折X線を検出し活用する装置を開発することにある。
そのために、本研究において、以下のような仕様の試作機を開発した。X線源は走査型X線分析顕微鏡用の微小焦点X線発生管を流用。X線ガイドチューブを介して径0.1mmのX線ビームを得る。検出器には蛍光X線検出用として、Si-PINフォトダイオードタイプのエネルギー分散型検出器および、回折X線検出用として冷却CCD素子を採用した。
この装置のポイントは、試料にたいするX線ビーム入射角と射出角すなわちCCDの配置が問題となる。本研究ではこの点について、理論的な研究をおこなった。低角になるほど、低エネルギー領域のX線を有効に利用できるが、一方で装置の幾何学的配置や、試料の位置設定精度が問題になってくる。そこで各種シミュレーションを行い、最適な角度範囲を決定した。今後、試作機によってその有効性を確認する予定である。

Research Products

• [Publications] S.Togami,M.Takano,M.Kumuzawa,K.Michibayashi: "An algorithm for the transformation of XRF images into mineral-distribution map."Canadian Mineralogist. 38. 1283-1294 (2000)