微小光散乱測定による非晶質半導体の構造揺らぎの研究

1999 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 11640317
• Research Institution: Osaka University
• Principal Investigator: 井上 恒一 大阪大学, 産業科学研究所, 助教授 (50159977)
• Keywords: 光散乱 / 非晶質 / 微小光学 / 格子振動 / ラマン散乱

Research Abstract

非晶質半導体は長距離には無秩序であるが、原子間結合長や結合角のような短距離には秩序が保たれており、その間の中間的な数10nm程度の距離にわたる中距離構造が重要である。たとえば光結晶化は光照射により直ちに起こるのではなく、光照射中のある潜伏期間をおいてから結晶化が進行する。おそらく、潜伏期間には比較的大きな秩序構造が発達し、大きな揺らぎが非晶質の中に生じているはずである。本研究は光結晶化過程の初期に非晶質の中にある中距離構造の揺らぎ、フラクタル性、といった局所的な個性の存在を検知することを目的とする。
本年度はそのための実験装置の制作を行った。マイクロレンズ(ソリッドイマ-ジョンレンズ)と近接場光学を用いた顕微光学系を設計、製作し、それに既存の分光器を組み合わせ、光散乱測定が行えるようにした。現在レーリー散乱測定の予備実験を行っている。