2000 Fiscal Year Annual Research Report
MnSi/Si界面の軟X線発光スペクトル及び共鳴逆光スペクトルによる研究
Project/Area Number |
11650003
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Research Institution | Utsunomiya University |
Principal Investigator |
中井 俊一 宇都宮大学, 工学部, 教授 (70081429)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
山崎 貴史 三井金属(株), 総合研究所, 研究員
柏倉 隆之 宇都宮大学, 工学部, 助手 (90261817)
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Keywords | シリサイド / シリコン界面 / 軟X線発光スペクトル / 逆光電子スペクトル / X線電子スペクトル |
Research Abstract |
1.共鳴逆光電子スペクトル測定用分光装置の開発及びテスト3KV電子銃を用いてSi基板に電子銃をあて、発光するSiK_α線,K_β線の励起エネルギー(電子銃電源電圧)依存性の研究を開始している。現在のところまだスペクトルの再現性が良くないので、分光装置の改良を行っている。 2.Si基板上へのMnの蒸着 分光器に試料室をとりつけ、試料室でMnをSi上に蒸着し、マニュピレーターを用いて、分光器内に移動させ、測定させるシステムを製作中である。 3.今後の計画 上記分光器の改良及び試料槽での蒸着テストが終了しだい、Si基板上にMnを蒸着し、MnSi/Si界面について、SiK_β,MnL_α発光スペクトルの測定を行い、界面の電子状態についての知見を得る計画である。
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Research Products
(3 results)
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[Publications] S.Nakai, et al.: "Resonant emission spectra of YF_3, YCl_3, Y_2O_2 and Y-metal in the Yl_<III> absorption region"Phys.Rev.B. B61・11. 7433-7439 (2000)
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[Publications] T.Kashiwakura, et al: "Electronic Structures of CeNi_2Al_5 and CeNiAl_4 Studied by Photoelectron Spectroscopy"J.Phys.Soc.Jpn.. 69・9. 3095-3099 (2000)
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[Publications] S.Nakai, et al: "Comparison between resonant L_α emission spectra and resonant LMM Auger spectra of Yttrium compounds"J.Synchrotron Rad.. 8・2. 401-403 (2001)