1999 Fiscal Year Annual Research Report
シンクロトロンX線マイクロビーム入射の局所動力学回折による表面トポグラフィの開発
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11650019
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| Research Institution | Kyushu Institute of Technology |
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Principal Investigator |
近浦 吉則 九州工業大学, 工学部, 教授 (40016168)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
鈴木 芳文 九州工業大学, 工学部, 助教授 (10206550)
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| Keywords | X線トポグラフィ / X線散乱トポグラフィ / シンクロトロン放射光 / 表面トポグラフィ / 化合物半導体 |
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| Research Abstract |
この研究は、表面層が重要な役割をする一群の結晶材料の表面構造および薄膜構造をX線回折動力学効果または各種の散漫散乱効果で、高分解能のもとでトポグラフ観察する装置の開発研究です。本年度は、当初立ててた計画とおりにシンクロトロン放射光X線マイクロビームの形成装置の開発を行い、ほぼ所期の目的を達成した。特に150keVを越える高エネルギーX線マイクロビーム形成のために用いる鉛10ミクロン・マイクロピンホールの試作に成功したことは大きな成果であった。これは鉛15mmに5ミクロンのピンホールを付けるものである。角度は10-4[rad」のレベルになる。これの2次元の角度位置調整をした上で、高分解能のスキャンをする機構の試験製作をした。Spring-8における試作装置を用いた準備研究によって、装置パラメーターの設計適正値が得られた。
次の課題は非対称反射利用によるビーム束縮小光学系の構成であるが、これについては研究室でそのトライアルを続けている。封入線源ではフォトン数の不足は決定的に不利であるので、装置試作の見とおしが立った時点でSpring-8のBL28または20で実験を行う運びである。
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Research Products
(2 results)
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[Publications] 鈴木芳文,近浦吉則: "X-ray scattering topographic observation of ZoSe and ZnTe bulk crystals"J.Crystal Growth. 210・3. 182-187 (2000)
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[Publications] 鈴木芳文,近浦吉則: "Energy-Dispersive Synchrotron Radiation Topographic Observation of In Az/GaAz Lather-Mismutched Layer"Jpn.J.Appl.Phys.. 38・5A. L543-L546 (1999)
