2000 Fiscal Year Annual Research Report
粗粒(#140)ダイヤモンド砥石による各種ファインセラミックスの高能率超平滑研削
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11650132
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| Research Institution | KUMAMOTO UNIVERSITY |
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Principal Investigator |
安井 平司 熊本大学, 工学部, 教授 (30040398)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
坂田 正登 熊本大学, 工学部, 助手 (20040652)
坂本 重彦 熊本大学, 工学部, 講師 (00315285)
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| Keywords | ファインセラミックス / 超平滑研削 / 延性モード研削 / 高能率化 / ダイヤモンド砥石 / 粗粒 / 砥石作業面 / 研削条件 |
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| Research Abstract |
本研究では,粒度#140,集中度50という,従来考えられていなかった粗粒でかつ集中度の低いダイヤモンド砥石を用いて,炭化けい素セラミック,窒化けい素セラミック,アルチックセラミックを各種条件で研削し,延性モード超平滑研削条件を検討した.得られた主な事柄をまとめると以下の通りになる.
1)粒度#140,集中度50の粗粒ダイヤモンド砥石を用いて,3種類のセラミック(炭化けい素セラミック,窒化けい素セラミック,アルチックセラミック)の延性モード超平滑研削の可能性を検討し,その全てで,30nm(P-V)[測定面積256×256μm]以下の延性モード超平滑研削面を得ることができた.
2)セラミックの種類により,延性モード超平滑研削条件は異なる.その条件には,テーブル速度や砥石周速度の他,砥石の種類(特に,粒度と集中度)や砥石作業面態が影響することが考えられる.超平滑研削機構を解明するとともに,最適超平滑研削条件を明確にすることは,今後の重要な課題である.
3)超平滑研削には砥石作業面の切れ刃の分布や逃げ面形状が大きく影響すると考えられるが,砥石作業面性状を観察・測定するのは,非常に煩雑である.この点を踏まえ,従来開発され得ていなかった,砥石作業面自動観察測定システムを開発した.
(講演発表)
安井平司他:粗粒ダイヤモンド砥石によるファインセラミックスの超平滑研削-研削条件の影響-,1999年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(1999)257
安井平司他:粗粒ダイヤモンド砥石によるファインセラミックスの延性モード研削-砥石粒度の影響-,1999年度精密工学会九州支部沖縄地方講演会講演論文集(1999)63-64
安井平司他:画像処理を用いた砥石作業面の自動評価システムの構築,2000年度精密工学会春期大会学術講演会講演論文集(2000発表予定)
安井平司他:画像処理を用いた砥石作業面の自動評価システムの構築 2000年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集(2000)279
安井平司他:粗粒ダイヤモンド砥石によるファインセラミックスの延性モード研削-砥石作業面性状の影響-,2000年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(2000)153
(この他)
安井平司他:平成11年度外3編,平成12年度外3編を発表
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[Publications] H.Yasui,Y.Hiraki,S.Sakamoto,M.Sakata et al: "Ultra-Smoothness Grinding of Fine Ceramics with #140-Mesh Grain Size Diamond Wheel"Proc.of ASPE 14th Annual Meeting, California, USA. Vol.20. 127-130 (1999)
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[Publications] H.Yasui,Y,Hiraki,S.Sakamoto,M.Sakata et al: "Ultra-Smoothness Grinding of Silicon Ceramics with #140-Mesh Grain Size Diamondo Wheel"Proc.of 9th Int.Conf.on Production Eng., Oosaka, JAPAN. 120-125 (1999)
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[Publications] 川下智幸,安井平司,開豊,久留須誠,細川晃,坂田正登: "粗粒ダイヤモンド砥石の形直し過程における切れ刃の挙動-粗粒ダイヤモンド砥石の最適形直し法に関する研究(第1報)-"砥粒加工学会誌. Vol.44・No.11. 498-503 (2000)
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[Publications] H.Yasui,Y.Hiraki,M.Sakata,S.Sakamoto et al: "Ultra-Smoothness Grinding of Al_2O_3-Tic Ceramic with Coarse Grain Size Diamond Wheel"Proc.of 5th Int.Conf.on Progress of Machining Technoligy, Beijing, China. 336-341 (2000)
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[Publications] H.Yasui,M.Sakata,Y.hiraki,S.Sakamoto et al: "Ultra-Smoothness Grinding Conditions of Fine Ceramics with Coarse Grain Size Diamond Wheel"Proc.of Advances in Abrasive Technology III, Hawai, USA. 549-552 (2000)
