1999 Fiscal Year Annual Research Report
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11650140
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| Research Institution | Meijo University |
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Principal Investigator |
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
原 民夫 豊田工業大学, 教授 (20109789)
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| Keywords | deposition / laser ablation / thin film / plasma / vacuum chamber |
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| Research Abstract |
本研究課題の主目的は組成・物性・構造を超精密に制御した表面層の形成である.本年度には電子ビームによりプラズマが励起可能なプロセスチャンバーを作成し,実験態勢を整えた.プロセスチャンバーの容積は50Nlであり,真空引きはロータリーポンプとターボモリキュラーポンプで行い,10^<-5>Paの真空度が達成可能である.真空測定は低真空をピラニー真空計,高真空を電離真空計で行った.正面にはプラズマ現象が観察できるように窓を設け,電子ビーム導入用,スパッタガス導入用,4重極質量分析器,ファラデーカップ設置用のフランジ,さらに2つの予備用フランジを設けた.具体的な蒸着プロセスは,そのメカニズムがよく似るレーザーアブレーションで行うこととした.そのためにアブレーション用のYAGレーザーを購入し,チャンバー内に設置し,シリコン基板上にアルミニウムを蒸着し,シミュレーション試験を行った.申請者はプラズマ現象を解明し,プラズマの空間分布と速度分布の間には相補関係があり,それらよりアブレーション領域の縦横のアスペクト比と蒸着領域のアスペクト比は相補関係にあると理論予測していた.本年度の蒸着厚さ分布等の試験結果は申請者の理論予測を裏付けるものであった.主たる研究発表はそれらの実績をまとめたものである.
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[Publications] Petros Abraha: "パルス・レーザー・デポジションによる薄膜形成に関する考察"日本機械学会東海支部第49期総会講演会講演論文集. NO.003-1. 253-254 (2000)
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[Publications] Petros Abraha: "Deposition of films by the Irradiation of High Aspect Ratio Focussed Pulsed Laser beam"Int. conference on Advances in Materials and Processing Technologies AMPT'99. VolII. 951-957 (1999)
