1999 Fiscal Year Annual Research Report
半導体エッチング過程のデブリ除去を目的とする噴流中でのレーザ照射衝撃波生成の研究
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11650163
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
斎藤 務 東北大学, 流体科学研究所, 助教授 (00302224)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
高山 和喜 東北大学, 流体科学研究所, 教授 (40006193)
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| Keywords | 衝撃波 / ダスト / 半導体製造装置 / 高速噴流 |
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| Research Abstract |
研究目的
半導体製造過程では短波長パルスレーザを使用したエッチング加工等によってデブリが発生し、半導体基板(ウェファー)に付着する。ウェファーに付着したデブリはサブミクロンスケールの電子回路製造の歩留まりを著しく低下させるが、これらデブリ(ダスト)の除去は技術的に難しく、これまで様々な方法が提案されているが、最終的解決には至っていない。本課題では、高速気体噴流と衝撃波の組み合わせによって、効果的なデブリの除去が出来ないかを実験及び数値計算によって研究するのが目的である。
研究経過及び今後の予定
平成11年度には、衝撃波を発生させる手段として、数ミリグラムの微少爆薬を用いた衝撃波の発生と、その光学可視化技術(シャドウグラフ、ホログラフィー干渉計、カラーリュリーレン)の確立を行った。このことによって数センチオーダの空間に衝撃波を再現性良く発生させた上、現象を詳しく観察研究する手段を得ることが出来た。数値計算では移動境界を計算するコードとして、回転する円柱周りの流れを模擬出来る2次元非構造解適合格子による数値コードを開発し、衝撃波が回転する円柱をすぎる場合を計算した。
平成12年度ではこの数値コードをさらに発展させ、任意に移動する物体の動きを解析できるようする。また実験では、高速流中に衝撃波を発生させて、ダスト除去の効果を調べる実験を行う。
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[Publications] G.Jagadeesh,T.Mizukaki,K.Takayama: "From Micro-Explosion to Macro Explosions-Apolot Study"第49回理論応用力学講演会講演論文集. 399-400 (2000)
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[Publications] G.Jagadeesh,M.Sun,K.Takayama: "Aerodynamics of high speed rotors"JSME 77th Fluids Eng. Div. Cof.. 615-616 (1999)
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[Publications] M.Sun,K.Takayama: "Numerical and experimental Study of shock wave interection with a rotating cylinder"Proc. of the 22nd ISSW. 143-180 (2000)
