電子線干渉法による電界放出型液体リチウム電子源の輝度測定

2000 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 11750027
• Research Institution: Mie University
• Principal Investigator: 畑 浩一 三重大学, 工学部, 助手 (30228465)
• Keywords: 電界放出 / 電子源 / Taylorコーン / 電界放射顕微鏡 / 輝度 / リチウム / 電子線干渉

Research Abstract

本研究は、液体金属材料として低仕事関数のリチウムを用いた液体リチウム電子源について、陰極先端に形成されたリチウムコーンの仮想物点径(virtual source size)を電子線干渉法により測定し、実用上重要となる輝度を見積もるものである。このため平成11年度は、現有設備の電界放出顕微鏡(FEM)に除振と浮遊磁場対策を行なった後、電子線干渉装置として電子線バイプリズムを装着し、干渉実験を行なった。観測された干渉縞の強度分布と計算機シミュレーション結果を比較した結果、物点径は100nm以下であることが判った。この値は、従来の電界放出型電子源のそれに比べて大きいが、これはまだ装置の除振が充分ではないことに起因しているため、本年度は、排気系に振動フリーのスパッタイオンポンプを用い、またFEM鏡体および排気系を防振ゴム架台に搭載することで、除振対策を行なった。現時点で得られている物点径の値と既知の放射角電流密度の値(20mA/sr)を用いて算出される輝度は、6.4×10^7A/cm^2・srである。

Research Products

• [Publications] 畑浩一,齋藤弥八: "カーボンナノチューブの先端構造と電界蒸発"日本学術振興会ナノプローブテクノロジー第167委員会研究会資料. 17. 26-32 (2000)
• [Publications] 畑浩一,齋藤弥八: "次世代分析のための超高輝度電子源の開発"工業技術院産業技術融合領域研究所講演会資料. 1-10 (2001)