1999 Fiscal Year Annual Research Report
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11750626
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
高橋 誠 大阪大学, 接合科学研究所, 助手 (10294133)
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| Keywords | 陽極接合 / ホウケイ酸ガラス / コバール合金 / イオン伝導 / 陽極酸化 / 透過型電子顕微鏡 / 継手界面組織 / 継手強度 |
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| Research Abstract |
平成11年度の研究実績
1.陽極接合継手の剪断強度試験 接合面にアルミニウムをRFスパッタ成膜したコバール合金及び、アルミニウムのスパッタを行わないままのコバール合金とホウケイ酸ガラスとの陽極接合継手を接合温度、接合時間を何通りかに変化させて作成し、接合強度を剪断試験によって評価した。その結果、全ての継手は8〜12MPaの破断強度を示し、アルミニウムスパッタの有無、接合条件と継手強度の間に明らかな関係は見出されなかったが、破断位置がアルミニウムスパッタした継手ではスパッタ膜中、スパッタなしの継手では接合界面近傍のガラス中となる違いが生じることが明らかになった。
2.陽極接合継手界面微細組織のSEM観察 アルミニウムをスパッタしたコバール合金及びスパッタを行わないコバール合金とホウケイ酸ガラスとの陽極接合継手界面をSEMを用いて観察し、ガラス中に生じるアルカリイオン欠乏層の厚さの接合時間に対する変化を求めた。その結果、アルミニウムをスパッタした継手ではスパッタを行わない継手と比べて、アルカリイオン欠乏層の厚さが約半分程度に小さくなることが見出された。
3.陽極接合継手界面微細組織のTEM観察 ガラス/コバール合金陽極接合継手のTEM用薄膜試料の作成法を確立し、継手界面近傍の断面微細組織のTEM観察を行った。その結果、アルミニウムをスパッタしたコバール合金とホウケイ酸ガラスとの継手界面には厚さ数nmの結晶質アルミナの反応層が、アルミニウムをスパッタしないコバール合金ホウケイ酸ガラスとの継手界面には厚さ数nmから2〜30nmの鉄・シリコンアモルファス複合酸化物の反応層と厚さ数nmの酸化鉄の反応層が生じているのが見出された。陽極側金属元素のガラス中への大幅な侵入は今までのところ見出されていない。
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