2000 Fiscal Year Annual Research Report
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11792001
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| Research Institution | Nara Institute of Science and Technology |
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Principal Investigator |
金光 義彦 奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成科学研究科, 助教授 (30185954)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
長村 俊彦 (株)ユニソク研究開発部, 部長
櫛田 孝司 奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成科学研究科, 教授 (00013516)
服部 賢 奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成科学研究科, 助教授 (00222216)
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| Keywords | 走査顕微鏡 / オージェ分析 / 集束イオンビーム / トンネル顕微鏡 / 近接場顕微鏡 |
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| Research Abstract |
本研究では、新しいタイプの超小型分析装置開発のために、お互いの専門分野を生かしながら共同で装置の研究開発を行った。走査オージェ分析器とトンネル顕微鏡の長所を併せ持った新しい装置の実現には、トンネル顕微鏡を基本とした観測部に、電子線源として収束機能を持った特殊な探針が必要となる。そこで電子軌道解析・電場解析プログラムを使用し、探針から放出される電界放出電子の軌道解析を行い、特殊探針の具体的な形状、各電極への電圧などを、特殊探針の作成方法などを考慮しながら検討した。その結果、探針先端から放出された電界放出電子が試料上へ収束する解が存在することを確認した。計算結果から、特殊探針としてマイクロスケールの微細な構造が必要となり、収束イオンビーム描画装置を用いて作製できると結論した。金属薄膜やSTM探針に対し収束イオンビーム描画装置を用いた加工を試み、特殊探針の作製に向けた基礎的な検討を行った。さらに、数種のミリスケールの特殊探針を作製し、レンズ電極電圧の変化に伴う電子線径の変化を観察し、これらの結果が電子軌道解析プログラムによる結果と一致することを確認した。オージェ電子の検出には高感度で広い立体角の取り込みが必要であると電子軌道解析により予測され、したがってMCP付き阻止電位型電子エネルギー分析器を採用した。これに関しては、すでに設計、組み立てを完了した。また、試料準備室および観測室についても完成し、観測部はトンネル顕微鏡として原子レベルの空間分解能を有することを確認した。
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