1999 Fiscal Year Annual Research Report
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11898012
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
佐藤 徳芳 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (40005252)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
酒井 洋輔 北海道大学, 大学院・工学研究科, 教授 (20002199)
河合 良信 九州大学, 大学院・総合理工学研究科, 教授 (10038565)
後藤 俊夫 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50023255)
菅井 秀郎 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 教授 (40005517)
神藤 正士 静岡大学, 工学部, 教授 (60023248)
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| Keywords | 電離 / 励起 / 放電 / 活性種 / プラズマ / 雷 / オーロラ / 太陽風 |
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| Research Abstract |
放電プラズマ分野は、核融合から材料エレクトロニクスまで幅広い応用分野を持ち、現在までに多くの国際会議が開催されてきている。その中でinternational Conference on Phenomena in Ionized Gases(ICPIG)は、約半世紀の歴史を持ち、ヨーロッパ中心にアメリカ、オーストラリア等から600名前後の研究者の参加を得て、電離気体現象とその応用に関する多くの発表が行われてきた。このICPIGは、従来ヨーロッパを中心に開催されてきたが、1998年ポーランドで開かれた国際組織委員会で、第25回ICPIGを2001年に日本で初めて開催される事が決定された。
本企画調査においては、関係する国内の主要な研究者を組織化し、電離気体現象の基礎分野と応用分野の国内外の研究の状況と今後の方向を調査するとともに、第25回ICPIGの準備も進めた。放電・プラズマの広範囲にわたる研究分野の研究者間の研究討論・意見交換の結果、開催に必要な具体的体制を確立し、カバーする分野、会議形式、財政基盤などを吟味し、諸外国へのアナウンスにそなえる事ができた。また、関連して国内に分散している放電・プラズマ研究者が一同に会する、プラズマ科学シンポジウム、プラズマ科学連合講演会開催を提案することになり、その具体的検討を開始した。
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Research Products
(6 results)
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[Publications] Noriyoshi Sato: "Electron temperature control by varying size of slits mode in a grid"APPLIED PHYSICS LETTERS. 76・5. 547-549 (2000)
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[Publications] Noriyoshi Sato: "Production of large-dimter uniform and control of electron temperature"Electrical Engineering Japan. 130・1. 971-978 (2000)
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[Publications] Toshi Goto: "Study on polymeric neutral species in high-density fluorocarbon plasmas"Journal of Vacuum Science & Technology A. 18・1. 1-9 (2000)
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[Publications] Yoshinobu Kawai: "Effect of electromagnetic waves plopagating in the periphery of electron cyclotron resonance plasma on the uniformity"Japanese Journal of Applied Physics. 38・P1・7B. 4333-4337 (1999)
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[Publications] Yosuke Sakai: "Floorinated carbon films with low dielectric constant made novel fluorocarbon sourse"Japanese Journal of Applied Physics. 38・P2・12B. 1544-1546 (1999)
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[Publications] Hideo Sugai: "Alternating ion bombardment technique for wall surface control in depositive plasma processing"Journal of Vacuum Science & Technology A. 18・1. 137-142 (2000)
