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2013 Fiscal Year Annual Research Report

半導体性単層カーボンナノチューブの選択的配向合成技術の開発とデバイス応用

Research Project

Project/Area Number 11J08717
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

井ノ上 泰輝  東京大学, 大学院工学系研究科, 特別研究員(DC1)

Keywords単層カーボンナノチューブ / CVD合成 / 配向合成 / 水晶基板
Research Abstract

高密度に水平配向した半導体単層カーボンナノチューブ(SWNT)を得てデバイス応用することを目指し, 今年度は以下の研究を行った. まず, 合成時の炭素源供給量の低下により水晶基板上での水平配向SWNTの合成密度が増加するという前年度までの研究内容をまとめ, 査読付国際雑誌へ論文を発表した. これは水平配向SWNTの高密度合成のために重要な知見だといえる. さらに, 合成された水平配向SWNTの構造の詳細な評価を行った, 特にSWNTが一方向に醍列している形態を利用して, SWNT一本毎の構造と長さを対応づけて分析した. 原子間力顕微鏡測定を用いてSWNTの直径と長さの関係を調べ, 直径1.0nm以下の比較的小さいSWNTと比較して直径の大きいSWNTは長く成長することが示された. より詳細にSWNTの構造を分析することで, SWNTの構造選択合成への手がかりが得られる可能性がある. また, 合成されたSWNT中には金属SWNTと半導体SWNTが混在することから, 電界効果トランジスタ(FET)への応用のためには金属SWNTを除去する方法が必要とされている. そこで, SWNTを有機膜で覆った状態で通電加熱することで金属SWNTの燃焼範囲を増大するという新手法を提案した, この方法により, 電極間をつなぐSWNTが全長にわたって除去できることを示した. 一度の処理で大面積に金属SWNTを除去できることから, 多数のFETを効率的に作製できる可能性がある. この手法について特許を出願し, 査読付国際雑誌へ論文を投稿した.

Strategy for Future Research Activity

(抄録なし)

  • Research Products

    (14 results)

All 2014 2013 Other

All Journal Article (1 results) (of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (11 results) Remarks (1 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results)

  • [Journal Article] Effect of Gas Pressure on the Density of Horizontally Aligned Single-Walled Carbon Nanotubes Grown on Quartz Substrates2013

    • Author(s)
      T. Inoue, D. Hasegawa, S. Badar, S. Aikawa, S. Chiashi, S. Maruyama
    • Journal Title

      Journal of Physical Chemistry C

      Volume: 117 Pages: 11804-11810

    • DOI

      10.1021/jp401681e

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 右機薄膜中ブレイクダウンによる金属単層カーボンナノチューブの広範囲除去2014

    • Author(s)
      大塚慶吾, 井ノ上泰輝, 千足昇平, 丸山茂夫
    • Organizer
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      青山学院大学, 神奈川
    • Year and Date
      2014-03-19
  • [Presentation] チューブ端からの単層CNTのクローニング成長2014

    • Author(s)
      海野貴徳, 井ノ上泰輝, 千足昇平, 丸山茂夫
    • Organizer
      第46回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • Place of Presentation
      東京大学, 東京
    • Year and Date
      2014-03-05
  • [Presentation] 半導体単層カーボンナノチューブアレイ作製に向けた有機薄膜中の全長ブレイクダウン2014

    • Author(s)
      大塚慶吾, 井ノ上泰輝, 千足昇平, 丸山茂夫
    • Organizer
      第46回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • Place of Presentation
      東京大学, 東京
    • Year and Date
      2014-03-04
  • [Presentation] Transport characteristics for nitrogen-doped horizontally aligned single-walled carbon nanotubes2013

    • Author(s)
      S. Kim, T. Thurakitseree, S. Aikawa. T. Inoue. S. Chiashi. S. Maruyama
    • Organizer
      4th A3 Symposium on Emerging Materials : Nanomaterials for Energy and ELectronics
    • Place of Presentation
      Jeju, Korea
    • Year and Date
      2013-11-11
  • [Presentation] Removal of Metallic Single-Walled Carbon Nanotubes Using Molecular Glass Thin Films2013

    • Author(s)
      大塚慶吾, 井ノ上泰輝, 千足昇平, 丸山茂夫
    • Organizer
      26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2013)
    • Place of Presentation
      札幌, 北海道
    • Year and Date
      2013-11-07
  • [Presentation] ナノダイヤモンド粒子を触媒としてCVD合成した単層カーボンナノチューブの直径分布2013

    • Author(s)
      海野貴徳, 井ノ上泰輝, 千足昇平, 丸山茂夫
    • Organizer
      第45回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • Place of Presentation
      大阪大学, 大阪
    • Year and Date
      2013-08-05
  • [Presentation] ラマン分光法による水平配向単層カーポンナノチューブのカイラリティ分析2013

    • Author(s)
      井ノ上泰輝, 長谷川大祐, 千足昇平, 丸山茂夫
    • Organizer
      第45回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • Place of Presentation
      大阪大学, 大阪
    • Year and Date
      2013-08-05
  • [Presentation] Density-controlled CVD growth and Selective Removal by Thermal-lithog raphy for Horizontally-aligned Single-walled Carbon Nanotubes2013

    • Author(s)
      S. Chiashi, T. Inoue, K. Otsuka, D. Hasegawa, S. Badar, S. Mauyama
    • Organizer
      NT13 The Fourteenth International Conference on the Science and Application of Nanotubes
    • Place of Presentation
      Espoo, Fiuland
    • Year and Date
      2013-06-25
  • [Presentation] Structured SWNTs and Graphene for Photovoltaic Devices2013

    • Author(s)
      K. Cui, T. Chiba, T. Thurakitseree, X. Chen, H. Kinoshita, P. Zhao, T. Inoue, E. Einarsson, S. Chiashi, S. Maruyama
    • Organizer
      the 5th International Workshop on Nanotube Optics and Nanospectroscopy (WONTON 2013)
    • Place of Presentation
      Santa Fe, New Mexico, USA
    • Year and Date
      2013-06-18
  • [Presentation] 金属単層カーボンナノチューブの選択的除去に向けたナノ熱リソグラフィ2013

    • Author(s)
      大塚慶吾, 井ノ上泰輝, 長谷川大祐, 千足昇平, 丸山茂夫
    • Organizer
      第50回日本伝熱シンポジウム
    • Place of Presentation
      ウェスティンホテル仙台, 宮城
    • Year and Date
      2013-05-30
  • [Presentation] Micro-Honeycomb Network Structure of Single-Walled Carbon Nanotubes for Heterojunction Solar Cell2013

    • Author(s)
      K. Cui, T. Chiba, H. Kinoshita, P. Zhao, T. Thurakitseree, T. Inoue, E. Einarrson, S. Chiashi, S. Maruyama
    • Organizer
      223rd ECS Meeting
    • Place of Presentation
      Toronto, Canada
    • Year and Date
      2013-05-13
  • [Remarks]

    • URL

      http://www.photon.t.u-tokyo.ac.jp/index-j.html

  • [Patent(Industrial Property Rights)] 金属型カーボンナノチューブフリーのカーボンナノチューブアレイ及びその製造方法2014

    • Inventor(s)
      丸山 茂夫, 千足 昇平, 大塚 慶吾, 井ノ上 泰輝
    • Industrial Property Rights Holder
      国立大学法人 東京大学, 昭和電工株式会社
    • Industrial Property Rights Type
      特願
    • Industrial Property Number
      2014-040003
    • Filing Date
      2014-03-01

URL: 

Published: 2015-07-15  

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