2000 Fiscal Year Annual Research Report
ナノ構造創成のための光メカトロニクスに関する総括研究
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12131101
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Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (B)
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
羽根 一博 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50164893)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
朝倉 利光 北海学園大学, 工学部, 教授 (70001188)
川勝 英樹 東京大学, 生産技術研究所, 助教授 (30224728)
梅田 倫弘 東京農工大学, 工学部, 教授 (60111803)
浮田 宏生 立命館大学, 理工学部, 教授 (00278491)
潮田 資勝 東北大学, 電気通信研究所, 教授 (90176652)
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| Keywords | ナノメートル / メカトロニクス / 近接場光 / マイクロプローブ / マイクロマシニング / マイクロマシン / ナノ構造 |
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| Research Abstract |
総括班では本領域の発足にあたり、第1回の研究会と公開シンポジウムを11月24日、25日に開催した。公開シンポジウムでは、「最新の近接場技術とナノ・マイクロマシニング」のテーマにおいて、4名の講演者による講演を行った。このうち、3名は本領域のメンバーにより購成した、他の1名は本分野のリーダの一人である大阪大学河田氏によりナノ光学についての最近の話題が提供された。また、他の3件講演では東北大学と東京大学で進められているナノマシニング技術に関する研究が報告された。公開シンポジウムでは約130名の参加者があった。討論においては、総括班の評価委員の方々よりコメントを得た。また翌日には領域メンバーの発表による研究会を開催し、研究計画の現状について発表し、討論した。
また、本年度の末の3月17日に、「ナノ構造をめざす光メカトロニクスのタイトル」で機械学会の東京支部講演会にてオーガナイズセッションを計画し、本年度の成果の一部を組織的に公表する予定である。
本領域では、今年度ニースレターを2冊発行し、各メンバーの研究計画などを紹介し合って、相互の交流を深めている。
研究テーマに関しては,総括班において,近接場光を用いるデータストレージや微細加工,近接場光を用いた1分子計測,高感度な近接場顕微鏡なとについて最近の世界の研究状況をしらべ,討論した.また最近,進歩の著しい微細加工技術を用いた新しいナノデバイスにいて議論し,それらを本研究領域で利用できかどうかの可能性について検討した.
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[Publications] M.Sasaki,K.Tanaka,K.Hane: "Cantilever Prove Integrated with Light-Emitting Diode, Waveguide, Aperture, and Photodiode for Scanning Near-Field Optical Microscope"Japan Journal of Applied Physics. 39. 7150-7153 (2000)
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[Publications] D.Saya,K.Fukushima,H.Toshiyoshi,H.Fujita,G.Hashiguchi,H.Kawakatsu: "Fabrication of Silicon-Based Filiform-Necked Nanometric Oscillators"Japan Journal of Applied Physis. 39. 3747-3749 (2000)
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[Publications] D.Saya,K.Fukushima,H.Toshiyoshi,G.Hashiguchi,H.Fujita,H.Kawakatsu: "FABRICATION OF ARRAY OF SINGLE-CRYSTAL Si MULTI PROBE CANTILEVERS WITH SEVERAL MICRONS SIZE FOR PARALLEL OPERATTON OF ATOMIC FORCE MICROSCOPE"Proc.of The 14th International conference of IEEE MEMS2001.. 131-131 (2001)
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[Publications] N.Umeda,M.Ishikawa,S.Ohkubo,A.Takayanagi: "Retlection Scanning Near-Field Optical Microscope with Elliptic Vibration Probe"Technical digest of nfo6. 79-79 (2000)
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[Publications] 梅田倫弘,高柳淳夫,蓮村聡: "走査型フォース顕微鏡による表面電位の検出"精密工学67. (印刷中). (2001)
