超微小硬度計と原子間力顕微鏡を一体化した固体表面力学計測装置の試作

2001 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 12354005
• Research Institution: Shizuoka University
• Principal Investigator: 増田 俊明 静岡大学, 理学部, 教授 (30126164)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 吉田 勇作 (株)アカシ, 相模工場・技術部 STグループ, 研究員
• Keywords: 超微小硬度計 / 原子間力顕微鏡 / 固体表面 / ヤング率 / 硬度 / 圧痕 / ビッカース圧子

Research Abstract

本年度は、超微小硬度計と原子間力顕微鏡を一体化した試作力学装置(ライダー2)の使用法に関して種々の情報を集めた。特に、原子間力顕微鏡と超微小硬度計の制御コンピュータにいろいろ問題があることが判明し、製作側のアカシの技術者にその問題点を指摘した。問題点は以下の通り。
1.格子点で硬度を連続的に測定するプログラミングに問題があり、碁盤の目のような測定点にならなかった。このプログラムの不調は研究能率を大いに阻害したので、改良を強く要求した。プログラム上の問題なので、解決は比較的容易の見込みである。
2.原子間力顕微鏡を使用しているときには、超微小硬度計のデータを処理・加工するすることができないことがわかった。これも作業能率が著しく落ちるので、改良を要求した。これもプログラム上の問題である。解決は容易の見込み。
3.ライダー2のカバーが重たくて、取っ手がないと持ち上げにくいことがわかった。これは体裁上の問題であり、昨日とは直接関係がないが、意外と不便である。
4.深度-荷重関係のスタンダード試料を使用して、詳細に深度-荷重カーブを調べたが、厳密な意味で2乗のカーブに乗っていなかった。これは、ライダー2自体が歪んでいるからかも知れない。さらなる検討が必要である。この問題はライダー2にとって非常に重要で、これがはっきりしないと、結局は何を測っているのか分からなくなる。まだ検討が足りないことは明白であり、今後この問題の解決が焦点となる。