2000 Fiscal Year Annual Research Report
レーザー加熱プラズマ励起方式による真空紫外Ar_2レーザーの開発
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12450034
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| Research Institution | Kyushu University |
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Principal Investigator |
岡田 龍雄 九州大学, 大学院・システム情報科学研究院, 教授 (90127994)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
高橋 昭彦 九州大学, 医療技術短期大学部, 助教授 (30187992)
内野 喜一郎 九州大学, 大学院・総合理工学研究院, 教授 (10160285)
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| Keywords | アルゴンエキシマー / 真空紫外レーザー / エキシマーレーザー / レーザープラズマ |
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| Research Abstract |
本研究グループで提案している「レーザー加熱プラズマ励起法式」について、
(1)「レーザー加熱プラズマ励起法式」による高圧Arプラズマの特性を解明し、
(2)Ar_2レーザー発振の可能性を評価するために利得を測定し、
(3)利得があれば共振器を付加してレーザー発振までを試み、
これらの結果に基づいて、「レーザー加熱プラズマ励起法式」によってAr_2エキシマーレーザーの発振が可能かどうかに結論を下すことを目的に研究を行っている。
本年度は、本研究の主要な目的である利得の測定、プラズマ特性の測定のため、現有装置の改造を主に行なった。
装置の主要な改造点は、以下の通りである。
1.高圧ガス容器をターボ分子ポンプで排気して、初期圧力0.1mTorr以下まで排気可能にし、不純物による真空紫外線の吸収損失を押さえた。
2.利得評価のため、軸方向から真空紫外光スペクトルを単一レーザーショットで計測するための多チャンネル計測システムの導入し、スペクトル計測法を確立した。
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Research Products
(1 results)
