2000 Fiscal Year Annual Research Report
超音波楕円振動切削による3次元マイクロ形状の超精密加工
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12450061
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| Research Institution | Kobe University |
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Principal Investigator |
森脇 俊道 神戸大学, 工学部, 教授 (00031104)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
藤居 義和 神戸大学, 工学部, 助教授 (80238534)
柴坂 敏郎 神戸大学, 大学院・自然科学研究科, 助教授 (80094530)
社本 英二 神戸大学, 工学部, 助教授 (20216146)
樋野 励 神戸大学, 工学部, 助手 (80273762)
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| Keywords | 楕円振動切削加工法 / 超精密切削 / ダイヤモンド工具 / マイクロ加工 / 切りくず生成 / 仕上げ面粗さ / 形状精度 / 3次元複雑形状 |
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| Research Abstract |
実績
3次元マイクロ形状の超精密切削加工の基本について、主として以下の3項目の研究を行い、下記の成果を得た。
(1)次元曲面のマイクロ加工の基本的切削特性の実験的解析
これまでに開発してきている超音波楕円振動切削装置を改良し、3次元形状を有する微小曲面のマイクロ・ダイヤモンド切削を行い、超精密マイクロ切削における加工性、加工プロセスのモニタリング(切削力測定など)、生成される切りくずの観察など、基本的な切削特性を実験的に明らかにした。
(2)加工された仕上げ面の特性の解析
マイクロ・ダイヤモンド切削によって得られた仕上げ面の形状精度、仕上げ面粗さなどの性状について解析を行った。
(3)3次元複雑状加工用ソフトウェアの開発
フレネルレンズ金型、非球面光学素子などの加工に必要な形状定義のためのソフトウェアと、基本的な3次元形状加工用CNCソフトウェアの開発を行った。
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[Publications] Toshimichi Moriwaki: "Resent Development in Ultraprecision Machining and Machine Tool Technology"Euspen,International seminar on precision engineering and micro technology. 161-170 (2000)
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[Publications] Eiji Shamoto : "Ultraprecision 6-Axis Table Driven by Means of Walking Drive"Annals of the CIRP. Vol.49/1. 299-302 (2000)
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[Publications] 社本英二: "高速切削における切削熱の移動に関する研究"2000年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 102 (2000)
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[Publications] 社本英二: "超音波構円振動切削加工に関する研究-振動制御システムの開発と加工への適用"日本機械学会[No.00-5]第2回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集. 185-186 (2000)
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[Publications] 社本英二: "静圧テーブルの運動誤差解析と高精度化(第1報)-伝達関数を利用した誤差解析と修正研磨法の提案"精密工学会誌. Vol.66,No.12. 1974-1980 (2000)
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[Publications] 社本英二: "畳込み積分を利用した工作機械の熱変形推定"日本機械学会第1回FA部門講演会. (2001)
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[Publications] Toshimichi Moriwaki: "Development of Ultraprecision 5-Axis Machine Tool Equipped with Elliptical Vibration Cutting Device"10th International Conference on Precision Engineering. (to be published). (2001)
