2001 Fiscal Year Annual Research Report

超音波楕円振動切削による3次元マイクロ形状の超精密加工

Research Project

Project/Area Number	12450061
Research Institution	KOBE UNIVERSITY
Principal Investigator	森脇俊道神戸大学, 工学部, 教授 (00031104)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	藤居義和神戸大学, 工学部, 助教授 (80238534) 柴坂敏郎神戸大学, 自然科学研究科, 助教授 (80094530) 社本英二神戸大学, 工学部, 助教授 (20216146) 樋野励神戸大学, 工学部, 助手 (80273762)
Keywords	楕円振動切削加工法 / 超精密切削 / ダイヤモンド工具 / マイクロ加工 / 切りくず生成 / 仕上げ面粗さ / 形状精度 / 3次元複雑形状
Research Abstract	平成13年度は、具体的な応用例を中心に切削実験を行い、主として以下の2項目の研究を行った。 (1)3次元マイクロ形状を有する部品の切削実験フレネルレンズ金型、マイクロピックアップレンズ金型、LCD用バックライトパネル金型など微細な3次元形状を有する部品の超精密切削実験を行った。ここでは主として、焼入れステンレス鋼など従来のダイヤモンド切削では不可能とされた材料についての超音波超精密楕円振動を行った。これらの今後重要となる3次元マイクロ形状部品の具体的な例については、別途調査研究を行った結果に基づいている。) (2)加工部品の最終評価と提案する加工法の実用化に向けた検討切削実験によって得られた加工部品の特性について、加工形状精度、仕上げ面粗さなどを総合的に評価するとともに、本研究成果の応用範囲を広げて、実用化に向けた検討を行った。

Research Products
(12 results)

All Other

All Publications (12 results)

[Publications] 朴天弘: "静圧テーブルの運動誤差解析と高精度化(第2報)-伝達関数を利用した解析法と修正研磨法の実験的検証"精密工学会誌. 67・6. 903-909 (2001)
[Publications] Toshimichi Moriwaki: "Development of Ultraprecision 5-Axis Machine Tool Equipped with Elliptical Vibration Cutting Device"10th International Conference on Precision Engineering. 589-593 (2001)
[Publications] Eiji SHAMOTO: "Analysis and Improvement of Motion Accuracy of Hydrostatic Feed Table"Annals of the CIRP. 50・1. 285-290 (2001)
[Publications] 社本英二: "楕円振動切削加工法(第4報)-工具振動システムの開発と超精密切削への応用"精密工学会誌. 67・11. 1871-1877 (2001)
[Publications] Eiji Shamoto: "Development of Ultrasonic Elliptical Vibration Controller for Elliptical Vibration Cutting"Annals of the CIRP. 51・1(発表予定). (2002)
[Publications] 社本英二: "傾斜型楕円振動切削加工法の提案"2001年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 353 (2001)
[Publications] 社本英二: "Walking Driveに基づくXYθテーブルの開発(第1報)-既定変位パターン駆動方式の提案と検証"精密工学会誌. 67・6. 954-959 (2001)
[Publications] 社本英二: "Walking Driveによる精密送り機構の開発(第3報)-デュアルモード超精密高速位置決めシステムの開発"精密工学会誌. 67・7. 1125-1129 (2001)
[Publications] 社本英二: "Walking Driveに基づくXYθテーブルの開発(第2報)-駆動方式の比較検討と小型鉛直面内XYθテーブルの開発"精密工学会誌. 67・8. 1259-1265 (2001)
[Publications] 社本英二: "Walking Driveを用いた送り装置の高精度化に関する研究-オープンループ特性の改善-"日本機械学会[No.01-20]第3回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集. 17-18 (2001)
[Publications] 社本英二: "Walking Driveを用いた超精密XYθテーブルの開発(第3報)-平面内3軸同時測定および駆動方法の提案"2002年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. (発表予定). (2001)
[Publications] 社本英二: "機械式円振動発生機構を利用した楕円振動切削加工機の開発"2001年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 511 (2001)

2001 Fiscal Year Annual Research Report

超音波楕円振動切削による3次元マイクロ形状の超精密加工

Principal Investigator

森脇 俊道 神戸大学, 工学部, 教授 (00031104)

Research Products

[Publications] 朴 天弘: "静圧テーブルの運動誤差解析と高精度化(第2報)-伝達関数を利用した解析法と修正研磨法の実験的検証"精密工学会誌. 67・6. 903-909 (2001)

[Publications] Toshimichi Moriwaki: "Development of Ultraprecision 5-Axis Machine Tool Equipped with Elliptical Vibration Cutting Device"10th International Conference on Precision Engineering. 589-593 (2001)

[Publications] Eiji SHAMOTO: "Analysis and Improvement of Motion Accuracy of Hydrostatic Feed Table"Annals of the CIRP. 50・1. 285-290 (2001)

[Publications] 社本 英二: "楕円振動切削加工法(第4報)-工具振動システムの開発と超精密切削への応用"精密工学会誌. 67・11. 1871-1877 (2001)

[Publications] Eiji Shamoto: "Development of Ultrasonic Elliptical Vibration Controller for Elliptical Vibration Cutting"Annals of the CIRP. 51・1(発表予定). (2002)

[Publications] 社本 英二: "傾斜型楕円振動切削加工法の提案"2001年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 353 (2001)

[Publications] 社本 英二: "Walking Driveに基づくXYθテーブルの開発(第1報)-既定変位パターン駆動方式の提案と検証"精密工学会誌. 67・6. 954-959 (2001)

[Publications] 社本 英二: "Walking Driveによる精密送り機構の開発(第3報)-デュアルモード超精密高速位置決めシステムの開発"精密工学会誌. 67・7. 1125-1129 (2001)

[Publications] 社本 英二: "Walking Driveに基づくXYθテーブルの開発(第2報)-駆動方式の比較検討と小型鉛直面内XYθテーブルの開発"精密工学会誌. 67・8. 1259-1265 (2001)

[Publications] 社本 英二: "Walking Driveを用いた送り装置の高精度化に関する研究-オープンループ特性の改善-"日本機械学会[No.01-20]第3回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集. 17-18 (2001)

[Publications] 社本 英二: "Walking Driveを用いた超精密XYθテーブルの開発(第3報)-平面内3軸同時測定および駆動方法の提案"2002年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. (発表予定). (2001)

[Publications] 社本 英二: "機械式円振動発生機構を利用した楕円振動切削加工機の開発"2001年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 511 (2001)

森脇俊道神戸大学, 工学部, 教授 (00031104)

[Publications] 朴天弘: "静圧テーブルの運動誤差解析と高精度化(第2報)-伝達関数を利用した解析法と修正研磨法の実験的検証"精密工学会誌. 67・6. 903-909 (2001)

[Publications] 社本英二: "楕円振動切削加工法(第4報)-工具振動システムの開発と超精密切削への応用"精密工学会誌. 67・11. 1871-1877 (2001)

[Publications] 社本英二: "傾斜型楕円振動切削加工法の提案"2001年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 353 (2001)

[Publications] 社本英二: "Walking Driveに基づくXYθテーブルの開発(第1報)-既定変位パターン駆動方式の提案と検証"精密工学会誌. 67・6. 954-959 (2001)

[Publications] 社本英二: "Walking Driveによる精密送り機構の開発(第3報)-デュアルモード超精密高速位置決めシステムの開発"精密工学会誌. 67・7. 1125-1129 (2001)

[Publications] 社本英二: "Walking Driveに基づくXYθテーブルの開発(第2報)-駆動方式の比較検討と小型鉛直面内XYθテーブルの開発"精密工学会誌. 67・8. 1259-1265 (2001)

[Publications] 社本英二: "Walking Driveを用いた送り装置の高精度化に関する研究-オープンループ特性の改善-"日本機械学会[No.01-20]第3回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集. 17-18 (2001)

[Publications] 社本英二: "Walking Driveを用いた超精密XYθテーブルの開発(第3報)-平面内3軸同時測定および駆動方法の提案"2002年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. (発表予定). (2001)

[Publications] 社本英二: "機械式円振動発生機構を利用した楕円振動切削加工機の開発"2001年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 511 (2001)