マイクロ球面超音波モータによる超精密・高速回転機構の開発

2000 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 12450065
• Research Institution: Tokyo University of Agriculture and Technology
• Principal Investigator: 遠山 茂樹 東京農工大学, 工学部, 教授 (20143381)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 永井 正夫 東京農工大学, 工学部, 教授 (10111634) ; 桑原 利彦 東京農工大学, 工学部, 助教授 (60195609) ; 梅田 倫弘 東京農工大学, 工学部, 教授 (60111803)
• Keywords: 超音波モータ / 位置決めステージ / マイクロメカニズム

Research Abstract

本研究では,マイクロ球面超音波モータを用いた超精密・高速回転ステージの開発を行う.これは3枚の超小型ステータを空間内に配置し,その上に半球状のロータをのせたものであり,両者の接触点で超音波振動による摩擦駆動を行い,ロータを超精密回転制御を行う.第1段階として,まずφ5のステータ開発のまえにφ8のステータを用いてPZTの張り付け技術を確立した.これにより,均一な品質のステータが確保されモータの安定性が高まった.さらに,レーザを使った角度検出は,1/1000度までは安定した精度がえられたが,1/10000度の精度を達成するためにはレーザの安定性が重要な課題となった.また,ロータのライニング材としてクロムメッキが良好であることも実験的に示した.さらに,ステータに数波おこし波数で球ロータの微小回転する技術を開発した.第2段階はマイクロモータに以上の技術を付加する.

Research Products

• [Publications] 遠山茂樹: "Design of new humanoid hand for human friendly robotic applications"Proc.of International Conference on Machine Automation. 13-19 (2000)
• [Publications] 遠山茂樹: "Design of the TUAT/Karlsruhe Humanoid Hand"Proc.of IEEE/RSJ International Conference on Intelligent Robots and Systems (IROS2000). 1754-1759 (2000)