複数の多自由度ナノプローブによるナノ材料の三次元マニピュレーション

2000 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 12450101
• Research Institution: Nagoya University
• Principal Investigator: 福田 敏男 名古屋大学, 先端技術共同研究センター, 教授 (70156785)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 新井 史人 名古屋大学, 工学研究科, 助教授 (90221051)
• Keywords: ナノマニピュレーション / 3Dナノ / 誘電泳動力 / 電子顕微鏡 / カーボンナノチューブ / ナノプローブ / ナノ材料 / 三次元操作

Research Abstract

本年度の研究成果は以下のようにまとめられる.
1.ナノ材料を観察し三次元的に操作するためのデバイス作成技術
電子顕微鏡の中に収納可能な多自由度ナノプローブを試作し,プローブの先端をマイクロアクチュエータにより三次元的に駆動した.各ナノプローブの合計の自由度は10自由度で,プローブ先端の位置を電子顕微鏡下で三次元的に制御できるようにした.
2.ナノ材料を三次元的に操作するための計測・制御技術
電子顕微鏡内のナノ材料を誘電泳動力によってプローブの先端に付着し,プローブの位置を三次元的に制御し,対象物を任意の位置に配置した.また,対象物をプローブ先端に誘電泳動力により引きつけることで,位置を制御した.ナノ材料としては多層カーボンナノチューブとポリスチレンビーズを試し,有効性を確認した.