2000 Fiscal Year Annual Research Report
複数の多自由度ナノプローブによるナノ材料の三次元マニピュレーション
Project/Area Number |
12450101
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Research Institution | Nagoya University |
Principal Investigator |
福田 敏男 名古屋大学, 先端技術共同研究センター, 教授 (70156785)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
新井 史人 名古屋大学, 工学研究科, 助教授 (90221051)
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Keywords | ナノマニピュレーション / 3Dナノ / 誘電泳動力 / 電子顕微鏡 / カーボンナノチューブ / ナノプローブ / ナノ材料 / 三次元操作 |
Research Abstract |
本年度の研究成果は以下のようにまとめられる. 1.ナノ材料を観察し三次元的に操作するためのデバイス作成技術 電子顕微鏡の中に収納可能な多自由度ナノプローブを試作し,プローブの先端をマイクロアクチュエータにより三次元的に駆動した.各ナノプローブの合計の自由度は10自由度で,プローブ先端の位置を電子顕微鏡下で三次元的に制御できるようにした. 2.ナノ材料を三次元的に操作するための計測・制御技術 電子顕微鏡内のナノ材料を誘電泳動力によってプローブの先端に付着し,プローブの位置を三次元的に制御し,対象物を任意の位置に配置した.また,対象物をプローブ先端に誘電泳動力により引きつけることで,位置を制御した.ナノ材料としては多層カーボンナノチューブとポリスチレンビーズを試し,有効性を確認した.
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