2000 Fiscal Year Annual Research Report
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12555112
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
佐々木 実 東北大学, 大学院・工学研究科, 講師 (70282100)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
江刺 正喜 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 教授 (20108468)
羽根 一博 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50164893)
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| Keywords | フォトダイオード / 集積化 / 積層構造 / 干渉計 / 定在波 / エンコーダ / 直接接合 |
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| Research Abstract |
当初の計画通り、集積化光計測システムを実現すべく研究を進めた。
1.積層化用フォトダイオードの製作・改良:薄膜フォトダイオードに関しては、櫛型構造を微細化することで感度の向上を図った。従来の約10倍の感度を得た。格子型フォトダイオードについても格子の微細化を進める。
2.光学系の設計と必要な素子の調達:λ/4板と偏光板を市販品で入手し、積層化してアイソレータを構成した。缶タイプのレーザ、コリメータレンズのハウジング、アイソレータ、薄膜フォトダイオードを積み重ねることで、レーザ干渉計型の距離センサを構成した。指先程の大きさを実現した。干渉信号を確認し、積層構造が有効であることを確認した。全ての素子を、ウェーハ状で用意して集積化するよう計画している。更に、新しいタイプの干渉計を提案した。測定対象にミラーを置けず粗面である場合でも有効な方式である。すなわち、反射光のスペックル中の微弱な定在波を検出し、干渉信号を得ることができた。距離計測も可能であった。
また、輝度はまだ低いものの発光ダイオードの製作に成功した。コヒーレント光の必要無いエンコーダ用光源として発展性がある。
3.積層プロセス技術の確立:直接接合装置を設計した。真空部品の手配を進めている。機械技術研究所の常温接合装置を参考にした。予算の関係上、アライメントは大気中で行い、接合は真空中で行う方式にした。
以上の結果の一部を学会や雑誌に発表した。
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Research Products
(4 results)
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[Publications] Xiaoyu Mi,Minoru Sasaki,Kazuhiro Hane: "Ultra-thin film photodiodes for use in position sensors"Journal of Modern Optics. 48・1. 55-66 (2001)
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[Publications] 遠藤哲生,佐々木実,伊藤善規,羽根一博: "透過格子フォトダイオードを用いた投影型マイクロエンコーダ(II)"第61回応用物理学会学術講演会講演予稿集. 872-872 (2000)
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[Publications] 佐々木実,羽根一博: "透過型フォダイオードの開発と光計測"電気学会研究会資料マイクロマシン・センサシステム研究会MSS-00-1〜6. 23-27 (2000)
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[Publications] M.Sasaki,X.Mi,T.Hirano,K.Hane: "Interferometers Detecting the Standing Wave"Technical Digest of the 17th Sensor Symposium. 141-146 (2000)
