2001 Fiscal Year Annual Research Report

FeRAMを含むMOSキャパシタの応力効果の研究

Research Project

Project/Area Number	12650019
Research Institution	Toyo University
Principal Investigator	神田洋三東洋大学, 工学部, 教授 (70041845)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	一木隆範東洋大学, 工学部, 助教授 (20277362)
Keywords	FeRAM / ヒステリシス曲線 / 応力効果 / MOS
Research Abstract	(1)FeRAM 測定素子は,35mm×12.5mmでMOS構造上の全面に下部電極となる白金を付着させ,その上に強誘電体のPZT(Pb(Zr×Ti)O_3)がゾル・ゲル法で厚さ220nm成膜され,さらにいくつかの上部電極の白金が付着している.試料をメタルのカンチレバーに貼り付け,これに曲げ応力を与えて張力と圧縮を加えた. ソーヤ・タワ回路にてヒステリシス曲線を観測した.応力下のヒステリシス曲線から,自発分極の応力依存性,残留分極の応力依存性,抗電界の応力依存性を求めることができた.これらの実験結果からFeRAMは初期の目的の不揮発性を用いたICカードのみならず,system on chipとして強誘電体薄膜をセンサやアクチエエータに使用可能なことがわかった.実験結果はメモリの繰返し書換によるfatigueにも強いことを示した. (2)MOS p-MOSおよびn-MOSの試料の寸法は面積L×W=250μm×400μm=10^5μm^2,T_<ox>=18nmである.試料をメタルのカレンチレバーに貼り付け,これに曲げ応力を与えて張力と圧縮応力を加えた.容量の測定を準静的に行なった.

Research Products
(11 results)

All Other

All Publications (11 results)

[Publications] M.MATSUDA, Y.KANDA: "MEMS simulation in heavily deped silicon devices"Proc.MSM 2001. 346-349 (2001)
[Publications] Y.KANDA: "Ultra-sensitive Cu doped Silicon Piezo-resistive Mechanical Sensor"Proc.6^<th> Symp.on Bio-Nano Electronics 2001. 95 (2001)
[Publications] Y.KANDA: "SoC for Bio-Medical Application Utilizing Ferroelectric Thin Film;Characterization of PZT film"Proc.6^<th> Symp.on Bio-Nano Electronics 2001. 96 (2001)
[Publications] Y.KANDA, T.MATSUURA, K.MIYAKE: "Uniiaxial Stress Effect of Copper Energy Levels in Sillicon"Proc.Transducers'01. 1390-1393 (2001)
[Publications] Takanori Ichiki: "Immunoelectrophoresis of red blood cells on a microcapillary chip"Electrophoresis. 23(To be published). (2002)
[Publications] Akio Oki: "Study on elemental technologies for creation of healthcare chip fabricated on polyethylene terephthalate plate"IEICE Trans.Electron.. E84-C. 1801-1806 (2001)
[Publications] Akio Oki: "Electroosmosis injection of blood serum into biocompatible microcapillary chip fabricated on quartz plate"Electrophoresis. 22. 341-347 (2001)
[Publications] 一木隆範: "大気圧マイクロプラズマジェットの微細加工への応用"表面技術協会誌. 52(12). 843-844 (2001)
[Publications] 一木隆範: "VHF駆動マイクロプラズマの生成技術とマイクロ化学分析システムへの応用"応用物理. 70(4). 452-453 (2001)
[Publications] 一木隆範: "ナノヘルスケアチップ"バイオインダストリー. 19(3). 39-45 (2002)
[Publications] 一木隆範: "マイクロマシン"(株)産業技術サービスセンター. 669 (2002)

2001 Fiscal Year Annual Research Report

FeRAMを含むMOSキャパシタの応力効果の研究

Principal Investigator

神田 洋三 東洋大学, 工学部, 教授 (70041845)

Research Products

[Publications] M.MATSUDA, Y.KANDA: "MEMS simulation in heavily deped silicon devices"Proc.MSM 2001. 346-349 (2001)

[Publications] Y.KANDA: "Ultra-sensitive Cu doped Silicon Piezo-resistive Mechanical Sensor"Proc.6^<th> Symp.on Bio-Nano Electronics 2001. 95 (2001)

[Publications] Y.KANDA: "SoC for Bio-Medical Application Utilizing Ferroelectric Thin Film;Characterization of PZT film"Proc.6^<th> Symp.on Bio-Nano Electronics 2001. 96 (2001)

[Publications] Y.KANDA, T.MATSUURA, K.MIYAKE: "Uniiaxial Stress Effect of Copper Energy Levels in Sillicon"Proc.Transducers'01. 1390-1393 (2001)

[Publications] Takanori Ichiki: "Immunoelectrophoresis of red blood cells on a microcapillary chip"Electrophoresis. 23(To be published). (2002)

[Publications] Akio Oki: "Study on elemental technologies for creation of healthcare chip fabricated on polyethylene terephthalate plate"IEICE Trans.Electron.. E84-C. 1801-1806 (2001)

[Publications] Akio Oki: "Electroosmosis injection of blood serum into biocompatible microcapillary chip fabricated on quartz plate"Electrophoresis. 22. 341-347 (2001)

[Publications] 一木 隆範: "大気圧マイクロプラズマジェットの微細加工への応用"表面技術協会誌. 52(12). 843-844 (2001)

[Publications] 一木 隆範: "VHF駆動マイクロプラズマの生成技術とマイクロ化学分析システムへの応用"応用物理. 70(4). 452-453 (2001)

[Publications] 一木 隆範: "ナノヘルスケアチップ"バイオインダストリー. 19(3). 39-45 (2002)

[Publications] 一木 隆範: "マイクロマシン"(株)産業技術サービスセンター. 669 (2002)

神田洋三東洋大学, 工学部, 教授 (70041845)

[Publications] 一木隆範: "大気圧マイクロプラズマジェットの微細加工への応用"表面技術協会誌. 52(12). 843-844 (2001)

[Publications] 一木隆範: "VHF駆動マイクロプラズマの生成技術とマイクロ化学分析システムへの応用"応用物理. 70(4). 452-453 (2001)

[Publications] 一木隆範: "ナノヘルスケアチップ"バイオインダストリー. 19(3). 39-45 (2002)

[Publications] 一木隆範: "マイクロマシン"(株)産業技術サービスセンター. 669 (2002)