2001 Fiscal Year Annual Research Report
反射角の変化と位相シフト法を用いた自由曲面の柔軟な形状測定法
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12650119
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| Research Institution | Toyama Prefectural University |
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Principal Investigator |
野村 俊 富山県立大学, 工学部・機械システム工学科, 教授 (00104977)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
神谷 和秀 富山県立大学, 工学部・機械システム工学科, 助手 (00244509)
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| Keywords | 形状誤差測定法 / 光線追跡 / 位相シフト法 / ハルトマン法 / 液晶パネル / 曲面 |
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| Research Abstract |
(1)小型形状測定機の開発
曲面形状測定用の小型の装置の開発を行った.この装置は,これまでの研究結果をもとに設計製作したものである.液晶パネルに格子を描画して,コンピュータからの指令によって格子の位相を段階的に変化させた複数の画像を用い,高い空間分解能で形状誤差を求めることができた.なお,空間分解能は画像取得用CCDカメラの画素数に依存する.
(2)形状解析プログラムの開発
放物面のときと同じように,設計面形状に対応した格子の形状を計算して液晶パネルに表示するソフト,および,CCDカメラから得られた画像を解析して,形状を算出するソフトの開発を行った.
(3)他の測定法との比較
測定された形状を断面形状測定機で測定して,本装置によって得られた測定値との比較を行い.問題点を探った.被検波面をゼルニケ多項式に分解した場合,パワー成分の誤差が入ることが分かった.この成分の誤差は,被検面の設置に誤差が入った場合に現れるものであり,測定に際して,被検面を正確に設置する必要があることが分かった.
[光学系の設計および実験担当;野村]
[プログラムの作成および実験担当;神谷]
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