2000 Fiscal Year Annual Research Report
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12650431
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| Research Institution | Kyushu University |
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Principal Investigator |
GODLER IVAN 九州大学, 大学院・システム情報科学研究院, 助教授 (60304755)
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| Keywords | 計測 / 角加速度センサ / 製造方法 / 紫外線露光 / 精度 |
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| Research Abstract |
光学式回転型角加速度センサの製造方法を確立するために,次の試作及び実験を行った.
・電子ビーム式露光装置を用いて,ガラス上にスリットマスクを試作した.
・マスク保持機構の設計及び試作を行い,マスクの繰返し位置決め精度の評価を行った.この場合,角加速度センサに用いる光学式ピックアップを使用した.
・紫外線露光装置を用いて,ガラスディスクにスリットを転写する実験を行った.
・露光時間等のパラメータとスリット精度の関係を調べた.
以上から次の結果及び結論を得た.
・確認したマスクの繰返し位置決め精度からは,確立したい角加速度センサの製造方法を用いると,センサのリプルが従来の1/5にはると期待できる.
・露光時間とスリット幅及びピッチ精度との関係があり,短い露光時間の場合には,スリットの精度が高くなる結果を得た.
今後の課題は次に考える.
・上記の得た結果を踏まえて,角加速度センサのスリットディスクを試作し,リプルの評価を行う.
・ガラスディスク以外に,金属製ディスクの可能性も研究する.
・エッチング時間や環境のクリーンレベル等についての検討が今後必要である.
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