2000 Fiscal Year Annual Research Report
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12740178
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
大島 義文 東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 助手 (80272699)
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| Keywords | シリコン / ナノワイヤー / ピエゾ / イオンシニング |
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| Research Abstract |
シリコンナノワイヤを作成し、その原子構造を観察することを目標とした超高真空電子顕微鏡用のホルダーを新たに開発した。このホルダーの特徴は、ピエゾ駆動による引っ張り機構、試料のシニングや試料表面を清浄化するための通電加熱機構、液体窒素温度においてコンダクダンスが測定できるように冷却機構が備わっていることである。引っ張り機構については、発生力の強い積層ピエゾを用いて、最大変位10μmのものを取り付けた。通電加熱機構については、コンダクタンスの測定も考え許容電流0.3Aの同軸ケーブルを取り付けた。冷却機構については、この冷却ホルダーにある液体窒素デュワ内の気泡による振動などを抑えるため、振動抑えや振動が伝達しないような工夫を行った。また、外部と冷却部の熱絶縁をしっかりとることで、熱ドリフトが抑えられることがわかった。以上の点を考慮した結果、液体窒素冷却によって試料は120Kになり、高分解能観察が可能なホルダーを作ることが出来た。シリコン試料は、(111)ウエハーより[112]方向に細長い0.1x0.1x10 mmの短冊状に切り出したのち、フッ酸エッチングにより、短冊状中央部の数mmの領域の厚さが10-30μm程度にした。しかし、この程度の厚さでは、通電加熱でのシニングでは、非常に長い時間がかかるため効率的でないことがわかった。そこで、この試料をホルダーに取り付けたまま、イオンシニングができるような真空チャンバーの立ち上げを検討した。
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[Publications] Y.Oshima,T.Hirata,T.Yokoyama,H.Hirayama and K.Takayanagi: "Atomic structure of Cluster ordered-array on the Si(001) surface Induced by Aluminum"Surface Science. 465. 81-89 (2000)
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[Publications] Y.Oshima,T.Nangou,H.Hirayama and K.Takayanagi: "Face centered cubic indium nano-particles studied by UHV transmission electron microscopy"Surface Science. 476. 107-114 (2001)
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[Publications] H.Koizaumi,Y.Oshima,Y.Kordo,K.Takayanagi: "Buantitative high-resolution microscopy on a suspended chair of gold atoms"Ultramicroscopy.
