2000 Fiscal Year Annual Research Report
変調ポテンシャル量子井戸による光路切替えスイッチのデジタル動作
| Project/Area Number |
12750035
|
|---|
| Research Institution | The University of Tokyo |
|---|
Principal Investigator |
加藤 正樹 東京大学, 大学院・新領域創成科学研究科, 助手 (80312982)
|
|---|
| Keywords | マッハツェンダー干渉計 / バルク半導体 / 偏光無依存動作 |
|---|
| Research Abstract |
光路切替えスイッチを実現するためには、マッハツェンダー干渉計の設計技術・作製技術をまず確立する必要がある。そのため本年度は、もっともシンプルなバルク材料を用いたマッハツェンダー干渉型光スイッチの試作と評価を行った。
バルク材料の変調器には、大きな変調帯域、適度な動作電圧、偏光無依存といった長所がある。そこで、導波路にバルク材料を用いた2×2のマッハツェンダー光スイッチを試作・測定し、導波路作製技術の確認、測定技術の確認を行った。
InP基板上に、バルクInGaAsPを含むP-I-NダイオードをMOCVDを用いて成長し、導波路幅2μmで、2つのMMIカプラを有するマッハツェンダー光スイッチを作製した。導波路構造は、CH4・H2・Ar/02交互供給ドライエッチングによる深さ1.5μmのハイメサ導波路とした。位相変調部となる電極には、Ti/Auを用いた。位相変調部の長さは500μm、素子の全長は2mmとした。
動作波長1.55μmにおいて、印加電圧3Vのスイッチ動作を達成した。この結果から、(動作電圧)×(位相変調部の長さ)は、1.5Vmmとなる。また、1.53μm〜1.56μmの波長範囲において、スイッチ動作の偏光無依存性も確認した。
|
