2000 Fiscal Year Annual Research Report
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12750160
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| Research Institution | Kyoto University |
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Principal Investigator |
若林 英信 京都大学, 工学研究科, 助手 (00273467)
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| Keywords | 熱ふく射物性 / ふく射伝熱 / ふく射応用計測 / インプロセス計測 / 分光測定 / 表面診断 / 表面あらさ / 表面被膜 |
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| Research Abstract |
工業装置や自然界の実環境下にある実在表面は,実験室の清浄な光学鏡面とは著しく異なり,表面にはミクロなあらさがあり,その表面はなんらかの被膜で覆われているのがふつうである.加えて,その表面状態は実環境下で時々刻々にも変化する.また,積極的に表面状態を変化させる表面の物理・化学プロセスも実用化されている.このような実在表面について,その熱ふく射特性を伝熱の評価のために明らかにし,あるいは,ふく射を応用する表面状態診断法を確立するには,分光学的な手法を検討するのが望ましい.
本研究では,第1に,本研究の主たる分光測定装置である広波長域高速ふく射スペクトル測定装置の開発を進めた.装置は,波長0.3〜11μmの近紫外〜赤外域の93波長点からなる表面の放射・反射スペクトルを2sのサイクル時間で同時にくり返し測定できる段階に到達した.第2に,この装置を用いて,高温大気酸化過程にある金属表面の時々刻々に変化する表面の反射・放射スペクトルの推移を調べる実験を行った.その結果,ふく射の干渉・回折挙動が,表面の微視構造の変化に応じてスペクトルの広い波長域にわたる系統的な変化として観測できることを確認した.第3に,そのような実在表面の温度・性状を時々刻々に診断する表面状態のインプロセス診断アルゴリズムを改良・提案することを試みた.そこでは,測定されたスペクトルの反転解析に耐える簡明な実在表面のふく射反射・放射モデルを示した.検証実験を行い,そのすぐれた性能を例証した.
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[Publications] 若林英信: "高速ふく射スペクトル法による金属実在表面の温度・性状診断"日本伝熱シンポジウム講演論文集. 第37回. 593-594 (2000)
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[Publications] Wakabayashi,H.: "New High-speed Radiation Spectroscopy for a Diagnosis Technique for Temperature and Microstructure of Real Surfaces of Metals"Proceedings of the fourth JSME- KSME Thermal Engineering Conference. vol.1. 349-354 (2000)
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[Publications] 若林英信: "実在表面の2方向反射率の分布の迅速測定システム"日本熱物性シンポジウム講演論文集. 第21回. 380-382 (2000)
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[Publications] Wakabayashi,H.: "A New Spectrophotometer System for Measuring Thermal Radiation Phenomena in a 0.30-11 μm Wavelength Region"Proceedings of Tsinghua University- Kyoto University Secondary Joint Conference on Energy and Environment. 31-38 (2000)
