2002 Fiscal Year Annual Research Report
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12792007
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| Research Institution | JAIST (Japan Advanced Institute of Science and Technology) |
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Principal Investigator |
松村 英樹 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 教授 (90111682)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
和泉 亮 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 助手 (30223043)
新田 晃平 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 助教授 (70260560)
寺野 稔 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 教授 (90251975)
木田 健一郎 株式会社石川製作所, システム機器開発部, 研究員
増田 淳 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 助手 (30283154)
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| Keywords | インプリント技術 / リソグラフィー / パターン転写 / 薄膜トランジスタ / 液晶ディスプレイ |
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| Research Abstract |
本研究は、液晶ディスプレイに用いられる薄膜トランジスタ(TFT)製造の際のパターン転写技術に関するものである。現行のパターン転写は、試料上のフォト・レジストにパターンの描かれた光を照射して行っているが、本研究では、高分子薄膜を試料に密着させ、その上からパターンの描かれた原版を圧着して凹凸パターンを高分子膜上に形成する、いわゆるインプリント方式の印刷技術を用いることにより、液晶ディスプレイの廉価な生産技術を提供することを目的としている。
過去2年間に、高分子薄膜としてポリエチレン、ポリスチレンなどを使用してパターン転写実験を行い、従来法と同程度の特性を持つTFTの製作に成功したが、今年度は、パターン転写後の残膜除去の効率を上げるために感光性を持たせた有機膜を使用し、それに凹凸をつけた後に紫外線を照射、凹凸壁面と水平面での光照射密度の違いを利用して容易に残膜処理のできる手法を提案し、生産性の高いパターン転写法として完成させることに成功した。また、本研究の過程で、パターン転写中に超微小な結晶シリコン集積回路を各画素に貼り付けることで極めて安価に大画面液晶ディスプレイの製造ができる全く新しい手法の提案とその妥当性の確認を行い、本提案の技術の新しい展開の可能性も示した。
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[Publications] 木田健一郎, 新田晃平, 寺野稔, 松村英樹: "インプリント法によるTET作製"2002-2 高分子エレクトロニクス研究会講演予稿集. 5-8 (2003)
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[Publications] Rui Morimoto, Akira Izumi, Atsushi Masuda, Hideki Matsumura: "Low-resistivity phosphorus-doped polycrystalline silicon thin films formed by catalytic chemical vapor deposition and successive rapid thermal annealing"Japanese Journal of Applied Physics Part 1. 41巻2A号. 501-506 (2002)
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[Publications] Atsushi Masuda, Akira Izumi, Hironobu Umemoto, Hideki Matsumura: "What is the difference between catalytic CVD and plasma-enhanced CVD? -Gas-phase kinetics and film properties"Vacuum. 66巻3-4号. 293-297 (2002)
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[Publications] Akira Izumi, Hideki Matsumura: "Photoresist removal using atomic hydrogen generated by heated catalyzer"Japanese Journal of Applied Physics Part 1. 41巻7A号. 4639-4641 (2002)
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[Publications] Y.W.Shin, H.Nakatani, T.Uozumi, B.Liu, K.Nitta, M.Terano: "Stepwise polymerization of propylene and ethylene with Cr(acethylacetonate)3/MgCl2-ethylebenzoate/diethylaluminium chloride catalyst system"Polymer Int.. vol.52. 19-34 (2003)
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[Publications] K.Nitta, M.Takayanagi: "Novel Proposal of Lamellar Clustering Process for Elucidation of Tensile Yield Behavior of Linear Polyethylenes"J. Macromol. Sci.-Phys.. vol.42. 109-128 (2003)
