2000 Fiscal Year Annual Research Report
超集積型走査型プローブアレーによる高効率の顕微鏡観察と加工
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12875076
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
川勝 英樹 東京大学, 生産技術研究所, 助教授 (30224728)
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| Keywords | AFM / 力検出 / 表面物理 / マルチプローブ / ナノ構造物 |
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| Research Abstract |
1)数ミクロンからサブミクロンオーダの単結晶シリコンカンチレバーで、先端に探針を有するものの作製に成功した.
シリコンの結晶方位による異方性を用いてカンチレバーと探針を形成しているため、極めて精度の高い作製が可能となった.これにより、スケーラブルな作製方法が実現され、形状と寸法精度が全体の大きさや、フォトリソグラフィー装置の精度に大きく依存しないことを確認した.この作製手法により、一平方センチメートルあたり、数100万個のカンチレバーの作製が可能となった.
2)光学顕微鏡とカンチレバーを用いて、カンチレバーごとに干渉計、もしくは光てこを構成する実験行った.
CCD等の受光素子で、光てこ輝度と干渉輝度を検出し、同時検出を行っている.光学系の最適化と、可視化手法の研究を行った.
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[Publications] D.Saya,H.Kawakatsu et al.: "Fabrication of silicon-based filiform-necked nanometric oscillators"Jpn.J.Appl.Phys.. 39. 3793-3798 (2000)
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[Publications] H.Kawakatsu et al.: "Strength Measurement and Calculations on Silicon Based Nanometric Oscillators for Scanning Force Microcopy Operating up to the GHz Range"Applied surface science. 157. 320-325 (2000)
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[Publications] H.Kawakatsu et al.: "Fabrication of silicon based nanometric oscillator with a tip form mass for scanning force microscopy operating in the GHz range"J.Vac.Sci.Technol.. B18. 607-611 (2000)
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[Publications] H.Kawakatsu et al: "Development of a Versatile Atomic Force Microscope within a Scanning Force Microscope"Jpn.J.Appl.Phys.. 39. 3747-3749 (2000)
