2001 Fiscal Year Annual Research Report
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13305007
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| Research Institution | Kochi University of Technology |
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Principal Investigator |
成沢 忠 高知工科大学, 工学部, 教授 (30299383)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
山本 哲也 高知工科大学, 工学部, 教授 (30320120)
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| Keywords | RBS / ガラスキャピラリー / ナノテクノロジー / 収集イオンビーム |
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| Research Abstract |
3年間にわたる研究計画め初年度なので、本格的な研究をスタートするための調査、シミュレーション計算、設計を行ない、必要部分の製作を一部行なった。
まず調査では、現在世界中で稼働しているマイクロビームRBSを文献、学会出席、研究所訪問、などを通して調査し、本研究で目標としているnm-RBS装置が実現されれば真にインパクトの強いものとなることを確信するに至った。
シミュレーション計算では、細い中空のガラスキャピラリーの中を高速で運動するHeイオン(2MeV)の軌道を種々の仮定の下で計算した。キャピラリー形状や入射イオンの角度分布が透過率と出射イオンの角度分布、エネルギー分布に極めて重大な影響をもたらすことが明らかとされた。
シミュレーション計算の結果をもとに、望ましい形状のキャピラリーを作製するための装置の設計を行ない、業者に発注し、入手した。現時点までの使用結果では、当初の目標が達成され、設計通りの形状を持つキャピラリーが自由自在に製作できている。
キャピラリーをRBS装置のピームラインに装着するために、既存装置を一部改造した。まだ実際にイオンピームを通す段階には至ってないが、真空排気試験やキャピラリーの位置、方向を微調整する機構など、基本性能の確認を終了している。
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