薄膜および極微細素子におけるペロブスカイト関連酸化物の欠陥平衡

2001 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 13305046
• Research Institution: Tohoku University
• Principal Investigator: 水崎 純一郎 東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 (90092345)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 二唐 裕 東北大学, 多元物質科学研究所, 助教授 (90006148) ; 川田 達也 東北大学, 多元物質科学研究所, 助教授 (10271983) ; 八代 圭司 東北大学, 多元物質科学研究所, 助手 (20323107)
• Keywords: 薄膜 / 微細素子 / 酸素不定比性 / 酸素不定比量 / 交流クローン測定 / ペロブスカイト

Research Abstract

本年度に行った研究は以下のとおりである。
1.薄膜の作製と交流法による酸素不定非性の測定
超高真空排気装置と高出力エキシマレーザーを接続してレーザーアブレーション装置を構築し・モデル物質((La,Sr)CoO3,(La,Sr)MnO3,Yban2CuO3等)から種々の厚さを持つ薄膜を作製した。基板として用いたCeO2,ZrO2,SrTiO3を電気化学測定装置により、基板が固体電解質の場合には薄膜を電極とするインピーダンス測定を、それ以外には固体電解質を組み合わせた交流クローン測定を行い、酸素不定比量の算出を行った。
2.微粒子の作製と微重量熱天秤による酸素不定非性の測定
微重量熱天秤装置により、上記のモデル物質の超微粒子をゾルゲル法により調整し、微重量熱天秤によって酸素不定比性を測定した。また、不活性な酸化物ないし貴金属との混合物として粒子の凝集を防ぐ実験を行った。
3.微細素子の作製と酸素不定比性測定
フォトリソグラフ等の手法によってモデル酸化物の微細パターンまたは微小ドットを作製し、薄膜の場合と同様に、交流クローン測定法によって酸素不定比量の測定を行った。