2001 Fiscal Year Annual Research Report
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13450028
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| Research Institution | Tokyo University of Agriculture and Technology |
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Principal Investigator |
高木 康博 東京農工大学, 工学部, 助教授 (50236189)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
黒川 隆志 東京農工大学, 工学部, 教授 (40302913)
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| Keywords | 超解像 / コヒーレンス / リソグラフィー / フーリエ反復アルゴリズム / 最適化アルゴリズム / 高分解能 |
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| Research Abstract |
平成13年度は、空間的コヒーレンス合成イメージングの基礎理論について主に研究を行った。
1.最適設計による超解像パターンの制御性向上
(1)フーリエ反復アルゴリズムの適用
超解像を発生させる入力パターンの設計に、フーリエ反復アルゴリズムを適用した。フーリエ反復アルゴリズムを、結像系の瞳面と像面の間に適用した。約100回程度の繰り返しで、超解像パターンのコントラストが向上することを確認した。
(2)高コントラスト超解像パターンの発生
超解像パターンの任意性を上げるとコントラストが低下する。そこで、超解像パターンを幅λ/4NAの細線のみで構成することで、主たる空間周波数を最大空間周波数付近に設定することで、コントラストが向上することを確認した。
(3)異方性コヒーレンスの導入
超解像パターンを構成する細線の方向を一方向に限定することで、さらにコントラストが向上することを見出した。そこで、任意の二次元細線パターンを発生させるために、縦線と横線のみで構成されるふたっのパターンに分割して、それぞれについて最適設計し多重露光する異方性コヒーレンス結像について検討し有用性を確認した。
2.コヒーレンス合成の最適設計
二次元パターンを縦線と横線で構成させる二つのパターンに分割する方法について研究した。この際に、縦線と横線が重なり合う部分での強度増加による線幅の増大が問題になる。レジストのガンマ特性を考慮しながら、重なり合う部分での線の長さを調節することで、線幅の増大を抑えることができる。そのために、レジストのガンマ特性を考慮した後の形成パターンをもとに、目的とする超解像パターンを補正する、この処理を繰り返すことで、強度の均一性を高め、線幅の均一性を向上させる方法が有効であることを示した。
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