2001 Fiscal Year Annual Research Report
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13450134
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| Research Institution | Utsunomiya University |
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Principal Investigator |
白石 和男 宇都宮大学, 工学部, 教授 (90134056)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
依田 秀彦 宇都宮大学, 工学部, 助手 (30312862)
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| Keywords | シリコン / 偏光分離素子 / 斜め配向 / 人工光学異方性 / 偏光分離角 / 真空蒸着 |
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| Research Abstract |
1.吸収損失の低減化
現在のSi厚膜の吸収損失は大きい。これは通常の真空蒸着ではSiがダングリングボンド(未結合手)を多数有するアモルファスになっているためである。この問題の解決を図るため,成膜後のa-Si厚膜を熱処理し多結晶化することを試みた。500〜800℃の間の一定温度で3時間,または650℃で最長20時間の熱処理を行った後に厚膜の吸収損失を評価した。その結果,いずれの熱処理条件においても吸収損失は低減されなかった。今後は別の方法として,a-Si厚膜形成時に基板温度を高くする方法,またはa-Siの水素化する方法により損失の低減化を図っていく。
2.偏光分離角の改善の準備
理論的には最大27°の偏光分離角が期待できる。針状Siの配向角を60°付近にできるか,および充填率を0.4程度にできるかが重要である。そのために必要な真空蒸着装置を購入し,現在は上記条件を満たすべく最適な成膜条件出しを行っている最中である。さらに配向角は基板の設置角を5°以下にできるようにする必要があり,そのための装置・冶具を自作している。また,既存の偏光分離素子を利用して,偏光分離幅および偏光分離角の精密測定系を立ち上げた。
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Research Products
(6 results)
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[Publications] A. Ogura: "Experimental performance of silica GIO fibers with a highly elliptic core"IEEE Photonics Technology Letters. 13・6. 594-596 (2001)
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[Publications] A. Ogura: "Efficient coupling between laser diodes with a highly elliptic field and single-mode fibers by means of GIO fiber"IEEE Photonics Technology Letters. 13・11. 1191-1193 (2001)
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[Publications] 小倉明: "石英系GIOファイバによる楕円界分布をもつ半導体レーザとファイバとの高効率結合"電子情報通信学会技術研究報告. OFT2001-4. 19-24 (2001)
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[Publications] 依田秀彦: "高アスペクト比を有する980nmLDとの高効率結合用レンズドファイバ"電子情報通信学会技術研究報告. OFT2001-5. 25-30 (2001)
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[Publications] H. Yoda: "A lensed fiber employing a wedge-shaped GIF for high-efficiency coupling between SMFs and high-power LDs having ultra-high aspect ratio"27th European Conference on Optical Communication Proceedings. 3. 418-419 (2001)
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[Publications] A. Ogura: "Efficient coupling between laser diodes and single-mode fibers by means of GIO fibers"27th European Conference on Optical Communication Proceedings. 4. 624-625 (2001)
