基板面外駆動マイクロアクチュエータの試作研究

2002 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 13555073
• Research Institution: Tokyo Institute of Technology
• Principal Investigator: 秦 誠一 東京工業大学, 精密工学研究所, 助手 (50293056)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 市原 順一 (株)富士通研究所, Mプロジェクト, 主幹研究員 ; 下河辺 明 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (40016796)
• Keywords: MEMS / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス / 静電アクチュエータ / 光磁気ディスク / 光ピックアップ

Research Abstract

1.新しい基板面外駆動マイクロアクチュエータの試作(担当:秦,市原,下河辺)
今までの薄膜金属ガラスの微細加工,微細成形技術を基に,新しい基板面外駆動マイクロアクチュエータを試作した.測定した性能を以下に示す.(括弧内は,仕様値)
(1)ストローク:0.85μm(1μm)
(2)駆動対象物:質量0.89mg,直径1mmのガラスダミーレンズ(質量1.5mg,直径1mmガラスレンズ)
(3)傾き誤差:0.02°(0.80以下)
(4)応答周波数:3.54kHz,(1kHz以上)
以上より,ストロークが若干足りないものの,ほぼ仕様を満たすマイクロアクチュエータを実現することができた.
2.基板面外駆動マイクロアクチュエータの耐久性試験(担当:秦,市原,下河辺)
試作した基板面外マイクロアクチュエータを,一定高さより落下させ衝撃力を加えて耐久性を調査した.その結果,いずれの姿勢でも800Gの加速度を加えても破壊せず,十分な耐衝撃性を有していることが明らかとなった.
3.基板面外駆動マイクロアクチュエータのMO用光ピックアップへの応用(担当:市原)
試作した基板面外駆動マイクロアクチュエータを,次世代の高記録密度MOの光ピックアップへ応用する際の技術課題について,有限要素法によるシミュレーションを行った.検討の結果,応答性,駆動精度などには問題なく,適用が可能であることが明らかとなった.現在,製品化するための生産性,工程の検討を行っている.

Research Products

• [Publications] 秦 誠一, 下河辺明: "薄膜金属ガラスアクチュエータ"精密工学会誌. 68・5. 657-661 (2002)
• [Publications] Seiichi Hata, Takashi Fukushige, Akira Shimokohbe: "Displacement Characteristics of Microactuators Made of Thin Film Metallic Glass"Proceedings of CPT2002. 162-167 (2002)
• [Publications] 秦誠一, 下河辺明: "新しいMEMS材料としての薄膜金属ガラス"電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料. 23-27 (2002)
• [Publications] 秦 誠一 (分担): "マイクロレンズ(アレイ)の超精密加工と量産化技術"技術情報協会. 320 (2003)