2002 Fiscal Year Annual Research Report
自立単結晶ダイヤモンド薄膜作成における注入イオンの影響
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13650033
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| Research Institution | Kochi University of Technology |
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Principal Investigator |
綿森 道夫 高知工科大学, 工学部, 助教授 (80222412)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
八田 章光 高知工科大学, 工学部, 助教授 (50243184)
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| Keywords | イオン注入 / 高速イオンビーム / 水素分析 / ERDA法 / 自立単結晶膜 |
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| Research Abstract |
13年度から2年間の研究期間に、マイクロ波プラズマCVD装置を用いて、メタン水素混合ガスを原料とし、ダイヤモンド基板上に気相ホモエピタキシャル相を作成して、その薄膜に水素のイオンを注入した。その後アニール処理等を試みることによってエピタキシャル相を剥離させ、自立単結晶ダイヤモンド薄膜の作成を試みた。その結果は、1.ダイヤモンド薄膜を剥離させることはできたが、主として本年度の評価の結果、それ程高品質でないこと及び、経時変化が著しく、あまり実用的でないことがわかった。こちらの主題に対しては実験はあまりうまく行ったといえず原因の解明が必要である。
2.注入した水素イオンの分布を調べるために、高速イオンビームを用いたERDA法を構築し、水素検出のための最適化を行った。測れる深さや、深さ分解能、検出感度などを徹底的に調べた。こちらの主題に関'しては完全に目的を達成し、先日の国際シンポジウムで招待講演を行った。
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[Publications] T.Kaneko, M.Watamori: "Depth Profiling of Hydrogen and Oxygen in Fewoelectric Films Using High-energy Ion Beam"Fewoelectrics(ISIF2003 invited talk 2003.3.12). (掲載予定).
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[Publications] T.Kaneko, M.Watamori: "Damage Evaluation after Ion Beam Iwadiation on Playimide Films using ERDA and RBS technignes"Nud.Instr. & Methods B. (Submitted).
