2001 Fiscal Year Annual Research Report

プロセスプラズマの電子エネルギー分布関数と化学反応性の制御

Research Project

Project/Area Number	13780384
Research Category	Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
Research Institution	Nagoya University
Principal Investigator	石島達夫名古屋大学, 工学研究科, 助手 (00324450)
Keywords	電子エネルギー分布関数 / 高密度プラズマ / エッチング / 化学反応種 / グローバルモデル / 準安定原子 / 出現質量分析法 / 表面波励起プラズマ
Research Abstract	半導体プロセスで用いられるプラズマは、より高度な制御性が求められており、プラズマ中の化学活性種の組成を決定するエネルギー分布関数が重要視されている。本研究の目的は、プラズマ中の化学活性種と電子エネルギー分布関数の制御に関する一般的な指針を得ることであり、本年度は次の項目について重点的に研究を行った。 (1)電子エネルギー分布関数計測のための機器の購入・製作:高性能の絶縁プリアンプ、A/Dコンバーターを用い再現性・信頼性の高い計測を可能とした。 (2)電子エネルギー分布関数の計測と制御:異なるプラズマ生成源(表面波プラズマ、誘導結合プラズマ)を用い、電子エネルギー分布関数の違いを詳細に調べ体積加熱と表面加熱の違いを明らかにした。 (3)希釈ガス依存性:混合する希ガスを、He,Ne,Ar,Kr,Xeと変化させ、電子エネルギー分布関数、電子温度の電離電圧依存性を実験及び計算から明らかにした。

Research Products

(3 results)

All Other

All Publications (3 results)

[Publications] 石島達夫, 菅井秀郎他1名: "Control of Electron Distribution Function and Radical Composition of Fluorocarbon Plasma by Rare Gas Selection"Proceedings of the 18th Symposium on Plasma Processing. 79-80 (2001)
[Publications] 石島達夫, 菅井秀郎他1名: "Control of Electron Temperature by Mixing Rare Gases in Fluorocarbon Plasma"Bulletin of the American Physical Society. 6巻6号. 58 (2001)
[Publications] 石島達夫, 菅井秀郎他1名: "Effects of Rare Gas Mixture on Electron Distribution Function and Fluorocarbon Radical Composition"Proceedings of 25th International Conference on Phenomena in Ionized Gases. 1巻. 157-158 (2001)

2001 Fiscal Year Annual Research Report

プロセスプラズマの電子エネルギー分布関数と化学反応性の制御

Principal Investigator

石島 達夫 名古屋大学, 工学研究科, 助手 (00324450)

Research Products

[Publications] 石島達夫, 菅井秀郎 他1名: "Control of Electron Distribution Function and Radical Composition of Fluorocarbon Plasma by Rare Gas Selection"Proceedings of the 18th Symposium on Plasma Processing. 79-80 (2001)

[Publications] 石島達夫, 菅井秀郎 他1名: "Control of Electron Temperature by Mixing Rare Gases in Fluorocarbon Plasma"Bulletin of the American Physical Society. 6巻6号. 58 (2001)

[Publications] 石島達夫, 菅井秀郎 他1名: "Effects of Rare Gas Mixture on Electron Distribution Function and Fluorocarbon Radical Composition"Proceedings of 25th International Conference on Phenomena in Ionized Gases. 1巻. 157-158 (2001)

石島達夫名古屋大学, 工学研究科, 助手 (00324450)

[Publications] 石島達夫, 菅井秀郎他1名: "Control of Electron Distribution Function and Radical Composition of Fluorocarbon Plasma by Rare Gas Selection"Proceedings of the 18th Symposium on Plasma Processing. 79-80 (2001)

[Publications] 石島達夫, 菅井秀郎他1名: "Control of Electron Temperature by Mixing Rare Gases in Fluorocarbon Plasma"Bulletin of the American Physical Society. 6巻6号. 58 (2001)

[Publications] 石島達夫, 菅井秀郎他1名: "Effects of Rare Gas Mixture on Electron Distribution Function and Fluorocarbon Radical Composition"Proceedings of 25th International Conference on Phenomena in Ionized Gases. 1巻. 157-158 (2001)