2002 Fiscal Year Annual Research Report
高分子超薄膜の表面ダイナミクスと表面機能特性の二次元制御
Project/Area Number |
14045258
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Research Institution | Kyushu University |
Principal Investigator |
高原 淳 九州大学, 有機化学基礎研究センター, 教授 (20163305)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
田中 敬二 九州大学, 大学院・工学研究院, 助手 (20325509)
大塚 英幸 九州大学, 有機化学基礎研究センター, 助教授 (00293051)
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Keywords | 有機シラン単分子膜 / 原子間力顕微鏡 / 水平力顕微鏡 / 化学吸着 / 局所光分解 / パターン化 / 微粒子 / 液滴 |
Research Abstract |
膜形成物質として結晶性、表面自由エネルギーの異なる、n-オクタデシルトリエトキシシラン(OTES、CH_3(CH_2)_<17>Si(OEt)_3)、[2-パーフルオロヘキシル]エチルトリエトキシシラン(FHETES、CF_3(CF_2)_5CH_2CH_2Si(OEt)_3)及び(2-アミノエチル)-3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン(AEAPDMS、NH_2(CH_2)_2NH(CH_2)_3SiMe(OMe)_2)を用いた。基板としてはSi基板を用いた。有機シラン単分子膜は化学吸着により調製し、波長172nmの真空紫外光を用いた局所光分解と化学吸着による単分子膜形成に基づきパターン化を行った。XPS測定に基づき、三成分系パターン化有機シラン単分子膜の形成を確認した。原子間力顕微鏡(AFM)観察、及び水平力顕微鏡(LFM)測定に基づき、三成分系パターン化有機シラン単分子膜の表面構造を評価した。OTES/FHETES/AEAPDMSパターン化単分子膜のAFM及びLFM観察より、それぞれ格子状にパターン化された単分子膜の形成が確認された。ラインの幅は、フォトマスクのライン幅と良い一致を示した。LFMにより評価される水平力の値は、AEAPDMS、FHETES、OTESの順に低下した。AEAPDMS単分子膜部分の高い水平力は、末端アミノ基とカンチレバー表面の-OH基との間の強い相互作用に起因する。またFHETESがOTESに比べて高い水平力を示すのはフルオロアルキル基の剛直性に起因する。これらのパターン化単分子膜を用いることにより微粒子のパターン化、液滴のパターン化が可能となった。
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Research Products
(6 results)
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[Publications] A.Takahara, Y.Hara, K.Kojio, T.Kajiyama: "Plasma Protein Adsorption Behavior onto the Surface of Phase-separated Organosilane Monolayers on the basis of Scanning Force Microscopy"Coll.Surf. B. 23. 141-152 (2002)
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[Publications] A.Takahara, K.Kojio, T.Kajiyama: "Effect of Aggregation State on Nanotribological Behaviors of Organosilane Monolayers"Ultramicroscopy. 91. 203-213 (2002)
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[Publications] T.Koga, H.Otsuka, A.Takahara: "Area-selective Fabrication of Polyaniline/Poly(styrenesulfonic acid) Composite Ultrathin Films on Micropatterned Aminosilane Grafted Surfaces"Trans.Mater.Res.Soc. Jpn. 27. 497-500 (2002)
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[Publications] T.Koga, H.Otsuka, A.Takahara: "Fabrication of Three-component Micropatterned Organosilane Monolayer by a Stepwise Photolithography Process"Chem.Lett.. 1196-1197 (2002)
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[Publications] 高原 淳, 梶山千里: "有機シラン単分子膜の表面ナノ構造とナノ力学物性"真空. (未定). (2003)
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[Publications] 高原 淳: "薄膜作製プロセスにおける問題点・対応策と製膜条件の最適化"有機超薄膜の凝集構造と表面物性. 11-19 (2003)