2005 Fiscal Year Annual Research Report
微小粒子を用いた3次元マイクロ・ナノファブリケーション手法の開発
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14205024
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| Research Institution | KYOTO UNIVERSITY |
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Principal Investigator |
津守 不二夫 京都大学, 工学研究科, 講師 (10343237)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
小寺 秀俊 京都大学, 工学研究科, 教授 (20252471)
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| Keywords | 3次元マイクロファブリケーション / 微小粒子 / 粒子接合 / マイクロアレイ / 通電焼結 / 微小構造体 / マイクロアクチュエータ / 放電プラズマ焼結 |
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| Research Abstract |
微粒子を液体中に懸濁させた溶液を電圧印加により吐出するマイクロアレイ作製技術と,その応用として微細な変位を実現する新たなマイクロアクチュエータ作製を試みた.マイクロアクチュエータの設計のためには磁場解析を応用し,吐出された磁性粒子群により構成されたドット間の相互の磁気的な力を算出した.
また,小型のSPS(放電プラズマ焼結)装置を開発し,粒子間を流れる電流によるジュール熱や放電プラズマにより粒子が接合するメカニズムを追跡した.同時にマイクロメーターオーダのグラファイト型を利用し微細パターンを転写・焼結した.
1.分散粒子に強磁性マグネタイトを使用し基板(PDMS)上にマイクロアレイを作製する実験
1.1 PDMS樹脂上に磁性粒子を固定することにより,外部磁場により制御するアクチュエータを作製した.
1.2 アクチュエータの変形挙動を予測・評価するための磁場解析を行った。
2.粉末粒子を通電により相互に結合するための小型通電焼結装置を開発した.
2.1 SUS粒子を用いた実験により放電の発生および接合がおこる限界電圧を決定できた.
2.1 このプロセスにより粉末材料を用いたマイクロパターンを作製することが可能となった.
実験1の成果については国際会議(PM2TECおよびIPMM)において発表を行った.また,著書「次世代の高精細ナノ・マイクロパターニングプロセス」においてそのプロセスを紹介した.実験2の成果については平成17年度春季講演大会(日本塑性加工学会)で発表予定である.
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