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2004 Fiscal Year Annual Research Report

アクティブ光プリント基板・3次元マイクロ光スイッチングシステムと省資源集積化法

Research Project

Project/Area Number 14550041
Research InstitutionTokyo University of Technology

Principal Investigator

吉村 徹三  東京工科大学, バイオニクス学部, 教授 (50339769)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 黒川 弘章  東京工科大学, バイオニクス学部, 講師 (20308282)
浅間 邦彦  東京工科大学, バイオニクス学部, 教授 (10277882)
Keywords光インタコネクト / 3次元マイクロ光ネットワーク / 光プリント基板 / 光スイッチングシステム / フィルム積層 / 素子埋込み / 自己組織化光ネットワーク(SOLNET) / 省資源集積化プロセス
Research Abstract

1.ミラー付導波路フィルム
15年度,「Built-in Mask法」を考案し,感光性コア材料層の斜め露光により,ミラー付き導波路フィルムの複製に成功したが,ミラー傾斜角度が57°と目標の45°とはかけ離れてしまうという問題があった.今年度,その原因が,斜め露光用UV光が基板に入射する際の屈折にあることをつきとめ,対策としてプリズムを介在させた斜め露光を試みた.その結果,傾斜角度45°のミラー作製に成功し,FFP観測から垂直反射動作を確認した.これにより,高密度・任意方位の45°ミラーを有する3次元光回路用導波路フィルムの一括複製プロセスを確立できた.
2.SORT
モデルデバイス(ポリマ製100x120μm^2の矩形,線幅10μmのクロス形)を用いて2段階移植を試みた.選択的に粘着性を残したCatch-Up Siteを第一UV Tape基板上に形成し,その上にGelPak基板上にピックアップしたモデルデバイスアレイを圧着した.その結果,Catch-Up Siteに接したモデルデバイスのみ選択的にUV-Tape基板上に移植され,その他はGel-Pak基板上に残留した.さらに,UV-Tape基板背面からUV露光しCatch-Up Siteの粘着性を低下させることにより,移植されたモデルデバイスをCatch-Up Siteを形成した第二UV Tape基板上に再移植することができた.これにより,省資源・低コストデバイス集積化プロセスのコアとなるSORTを確立できた.
3.SOLNET
2本のシングルモード光ファイバを130μm離して対向させ,その間にPhotorefractive材料を配置し,両ファイバからUV光を入射させSOLNETを形成し,1.3-μm LD光に対する結合効率を測定した.その結果,位置ずれ8μmに対しても数10%の結合効率を保ち,Butt Jointに比べて結合効率が高く,トレランスが広いことを実験的に示した.
本研究プロジェクトにより,A-PCB・3D-MOSS向け要素技術開発に成功した.半導体プロセス技術が不十分であったため,目標としていたVCSEL・光スイッチの埋め込みには至らなかったが,今後引き続き,半導体研究グループとの連携や有機デバイスの導入によりA-PCB・3D-MOSS試作を行い,装置内・LSI内光配線,高速大容量光スイッチングの実現を図っていく.現在,(財)光産業技術振興協会「光集積技術フィージビリティ調査委員会」においてテーマ提言として働きかけを行うなど,A-PCB・3D-MOSS実現のための今後の施策を進めている.

  • Research Products

    (5 results)

All 2005 2004

All Journal Article (5 results)

  • [Journal Article] Built-in Mask方法による3次元光回路用マイクロミラー付きフィルム導波路2005

    • Author(s)
      井ノ口誠子, 森谷聡史, 山本孝, 新井享彦, 吉村徹三, 浅間邦彦
    • Journal Title

      エレクトロニクス実装学会誌 Vol.8 no.3(to be published)

  • [Journal Article] A device transfer process "Selectively Occupied Repeated Transfer (SORT)" for resource-saving integration of polymer micro optics fabricated by "built-in mask" method2004

    • Author(s)
      T.Yoshimura, D.Tamaki, S.Kawamura, Y.Arai, K.Asama
    • Journal Title

      IEEE Trans.Comp., Packag.Technol. vol.27, no.3

      Pages: 468-471

  • [Journal Article] Self-Organized Lightwave Network Based on Waveguide Films for Three-Dimensional Optical Wiring Within Boxes2004

    • Author(s)
      T.Yoshimura, T.Inoguchi, T.Yamamoto, S.Moriya, Y.Teramoto, Y.Arai, T.Namiki, K.Asama
    • Journal Title

      J.Lightwave Technol. vol.22, no.9

      Pages: 2091-2100

  • [Journal Article] Core Technologies for Device-Embedded Optical Interconnects with Three-Dimensional Self-Organized Lightwave Network2004

    • Author(s)
      T.Yoshimura, T.Inoguchi, T.Yamamoto, S.Moriya, Y.Arai, K.Asama
    • Journal Title

      2004 Digest of the LEOS Summer Topical Meetings : Optical Interconnects & VLSI Photonics

      Pages: 25-26

  • [Journal Article] Integrated 3-D Reconfigurable Optical Interconnect Concept2004

    • Author(s)
      T.Yoshimura, T.Inoguchi, T.Yamamoto, S.Moriya, Y.Arai, K.Asama
    • Journal Title

      2004 Frontier in Optics (FiO) (2004 OSA Annual Meeting)

      Pages: ThE1

URL: 

Published: 2006-07-12   Modified: 2016-04-21  

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