真空紫外用光学素子評価システムの開発

2002 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 14550094
• Research Institution: Tokyo University of Agriculture and Technology
• Principal Investigator: 大谷 幸利 東京農工大学, 工学部, 助教授 (10233165)
• Keywords: 真空紫外光 / 光学素子 / F2レーザ / 複屈折 / 蛍光ガラス

Research Abstract

本研究は真空紫外領域,特に,157nm用における超精密光学部品の評価システムの構築を目的とした.真空紫外による光学製品の評価のために複屈折分布計測システムの構築を行うため,初年度はまず,新たに真空紫外光学系の2次元ディテクタおよび光源のスペクトル特性の評価を行うため干渉計を製作した.真空紫外光は空気で吸収されてしまうため窒素雰囲気中で計測を行う.そこで実際の実験では窒素雰囲気を作り出すための真空チャンバーを自製した.この際に,真空度や酸素含有量に対す画像検出特性を確認することで,最適な窒素雰囲気を決定した.
真空紫外用2次元ディテクタは真空紫外蛍光ガラスとCCD受光素子からなる.希土類系蛍光ガラスによって真空紫外光を緑色の可視光として変換し画像計測を可能とした.この画像計測の成果として,光源に使われているF2レーザのモード検出が可能となった.さらにF2レーザのスペクトル特性を計測するため,この画像検出装置を用いて真空チャンバー内に真空紫外マイケルソン干渉計を構築した.これによってレーザのスペクトル特性を求めることができた.さらに,偏光計として偏光子と四分の一波長による光学系を確立を試みた.ここでは主に,可視光によって計測システムのチェックした.これを真空中で計測可能なように様々な角度から検討をおこなった.以上の成果から最終目標である真空紫外での複屈折計測システムの構築の基礎実験を完了した.

Research Products

• [Publications] 高橋政克, 若山俊隆, 金蓮花, 高和宏行, 大谷幸利, 梅田倫弘: "真空紫外領域における画像検出システム"Optics Japan 2002 日本光学会年次学術講演会講演予稿集. 146-147 (2002)