2003 Fiscal Year Annual Research Report
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14550248
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| Research Institution | Kansai University |
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Principal Investigator |
新井 泰彦 関西大学, 工学部, 教授 (80131415)
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| Keywords | 干渉計測 / MEMS / マイクロカンチレバー / Speckle Interferometry / 縞解析法 |
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| Research Abstract |
本学HRC内クリーンルームにおいて製作したマイクロカンチレバーを測定対象として,マイクロフィゾー干渉計を用いてマイクロカンチレバーの動的計測を行なった.マイクロカンチレバーは,本補助金によって研究室内に新たに整備した半導体レーザーによって光駆動されている.マイクロカンチレバーの固有振動数(34kHz)はもちろんのこと5次のモードまで変形計測を行なうことが可能であることが分かった.この場合,800kHzの高い周波数においてもレーザービームを用いた光駆動では,マイクロカンチレバーの駆動が可能であることが分かった.
この成果を,米国機械学会IMECE2003において"THE DYNAMIC CHARACTRISTICS OF mems DRIVEN BY LASER BEAM"と題して報告した.また,この計測を行なうための縞画像解析法を新たに提案し,SPIEにおいて"Control of phase of fringes in speckle interferometry for application of fringe scanning method"と題して報告した.
平成14年度の研究成果がOptical Engineeringに"In-plane displacement measurement using ESPI based on spatial fringe analysis method"と題して記載が決定している.
本年度の研究成果の一部はModern Opticsに"Control of phase of fringes in speckle interferometry for application of fringe scanning method"として記載が決定している.
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Research Products
(2 results)
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[Publications] Yasuhiko Arai: "Control of phase of fringes in speckle interferometry for application of fringe scanning method"Modern Optics. accepted Jan.14.2004(印刷中).
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[Publications] Yasuhiko Arai: "In-plane displacement measurement using ESPI based on spatial fringe analysis method"Optical Engineering. accepted Feb.26.2004(印刷中).
