2003 Fiscal Year Annual Research Report

光ファイバ上に展開するマイクロマシニング加工

Research Project

Project/Area Number	14655094
Research Institution	Tohoku University
Principal Investigator	佐々木実東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (70282100)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	金森義明東北大学, 大学院・工学研究科, 助手 (10333858) 羽根一博東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50164893)
Keywords	光ファイバ / 集積化 / 追加工 / フォトリソグラフィ / 先球ファイバ / セルフアライメント / 光減衰器
Research Abstract	計画通り光ファイバに施す加工技術開発を進めた。 1.パッシブデバイス:研究者らが従来から進めていた技術を発展させ、光ファイバリボンの上にアレイ状にレンズを一度に製作できる結果を得た。考え方を変えた研究も試みた。マイクロレンズを平面ガラスウェハ上に形成し、光ファイバと効率良く組み合わせるために、フェムト秒レーザによって導波路構造を用意し、軸ずれ補正機能を実現するものである。 2.アクチュエータを含むアクティブデバイス:直径40μmまで細径化した光ファイバをMEMSサーフェスμマシニングにおいて代表的なアクチュエータであるスクラッチドライブアクチュエータ(SDA)で駆動する光スイッチを試作した。SDAは円盤状のコムと一体になった形で製作した。SDAの駆動を止めるとコムがラッチ機能を果たす構造である。光ファイバは50μm横にずらすことができ、透過する光を完全に無くすことができた。このデバイスでは、光ファイバに加えた加工は細径化に抑えて、Siウェハに施すMEMSデバイス側に複雑な加工を施した。組み合わせ方を工夫することで、複雑な機能を実現できることを確認した。光ファイバに施す加工に関して再考すると、現状の技術では余りにも複雑な加工は産業界からのニーズに遠いと感じた。このため、光ファイバに施す加工としては、Siウェハなどで実現する複雑なMEMSデバイスと相性良く組み合わせるための、比較的簡単な加工とする方針の方がより実際の応用においても魅力があると認識した。軸ずれ補正機能を目指した試みもその一つである。現在は光ファイバを加熱する複雑なマイクロヒータデバイスをSiデバイス側で用意して、これと組み合わせるための加工した光ファイバ、および組み合わせデバイスを開発中である。

Research Products
(6 results)

All Other

All Publications (6 results)

[Publications] P.N.Minh, T.Ono, Y.Haga, K.Inoue, M.Sasaki, K.Hane, M.Esashi: "Bach Fabrication of Microlens at the end of Optical Fiber using Self-photolithography and Etching Techniques"Optical Review. Vol.10,No.3. 150-154 (2003)
[Publications] J.H.Song, Y.Taguchi, M.Sasaki, K.Hane: "MEMS Device for Controlling Evanescent Field on Side-Polished Optical Fiber"Jpn.J.Appl.Phys.Part 1. Vol.42,4B. 2335-2338 (2003)
[Publications] K.Hane, J.-H.Song, M.Sasaki, Y.Taguchi, H.Shimoda: "Photolithography on optical fiber and micro - fabrication of fiber - optic devices controlling evanescent field"Digest of Technical Papers of the 12th Int.Conf.on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. 2B1.2. 198-201 (2003)
[Publications] Y.Kanamori, Y.Aoki, M.Sasaki, H.Hosoya, A.Wada, K.Hane: "Driving of Optical Fiber by Surface-Micromachined Cam-Micromotor for the Applications to Variable Optical Attenuator"2003 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS. WB4. 119-120 (2003)
[Publications] 青木優宇, 金森義明, 佐々木実, 細谷英行, 和田朗, 羽根一博: "回転型スクラッチドライブアクチュエータを用いた光スイッチの製作"平成15年度電気学会全国大会. 3-143. 188 (2003)
[Publications] 梅田重喜, 佐々木実, 羽根一博: "マイクロレンズ光軸に形成するフェムト秒レーザー誘起構造"第64回応用物理学会学術講演会講演予稿集. No.3. 880 (2003)

2003 Fiscal Year Annual Research Report

光ファイバ上に展開するマイクロマシニング加工

Principal Investigator

佐々木 実 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (70282100)

Research Products

[Publications] P.N.Minh, T.Ono, Y.Haga, K.Inoue, M.Sasaki, K.Hane, M.Esashi: "Bach Fabrication of Microlens at the end of Optical Fiber using Self-photolithography and Etching Techniques"Optical Review. Vol.10,No.3. 150-154 (2003)

[Publications] J.H.Song, Y.Taguchi, M.Sasaki, K.Hane: "MEMS Device for Controlling Evanescent Field on Side-Polished Optical Fiber"Jpn.J.Appl.Phys.Part 1. Vol.42,4B. 2335-2338 (2003)

[Publications] Y.Kanamori, Y.Aoki, M.Sasaki, H.Hosoya, A.Wada, K.Hane: "Driving of Optical Fiber by Surface-Micromachined Cam-Micromotor for the Applications to Variable Optical Attenuator"2003 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS. WB4. 119-120 (2003)

[Publications] 青木優宇, 金森義明, 佐々木実, 細谷英行, 和田朗, 羽根一博: "回転型スクラッチドライブアクチュエータを用いた光スイッチの製作"平成15年度 電気学会全国大会. 3-143. 188 (2003)

[Publications] 梅田重喜, 佐々木実, 羽根一博: "マイクロレンズ光軸に形成するフェムト秒レーザー誘起構造"第64回応用物理学会学術講演会 講演予稿集. No.3. 880 (2003)

佐々木実東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (70282100)

[Publications] 青木優宇, 金森義明, 佐々木実, 細谷英行, 和田朗, 羽根一博: "回転型スクラッチドライブアクチュエータを用いた光スイッチの製作"平成15年度電気学会全国大会. 3-143. 188 (2003)

[Publications] 梅田重喜, 佐々木実, 羽根一博: "マイクロレンズ光軸に形成するフェムト秒レーザー誘起構造"第64回応用物理学会学術講演会講演予稿集. No.3. 880 (2003)