2007 Fiscal Year Annual Research Report
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15075202
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
寺嶋 和夫 The University of Tokyo, 大学院・新領域創成科学研究科, 准教授 (30176911)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
越崎 直人 産業技術総合研究所, 界面ナノアーキテクニクス研究センター, チームリーダー(研究職) (40344197)
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| Keywords | マイクロプラズマ / 材料デバイスプロセス / 超臨界流行プラズマ / プラズマ加工 / 大気圧非平衡プラズマ / ナノマテリアル / レーザー誘起プラズマ / 薄膜堆積 |
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| Research Abstract |
(1)超臨界流体プラズマの基礎と応用 超臨界CO_2中においてバリア放電の発生、診断を行ない、超臨界流体中においてバリア放電により形成されたプラズマの、低温・高電荷密度性を示すと共に、超臨界流体の"密度揺らぎ"が共存したプラズマ反応場の創製を実証した。これらの成果は、超臨界CO_2バリア放電プラズマに限ることなく、超臨界流体中における非平衡プラズマに共通する、揺らぎ/クラスタリングといった特性を兼ね備える新規プラズマ反応場という意味においての"超臨界流体プラズマ反応場"の実現可能性を示したものであり、今後、超臨界流体プラズマを用いた、新規反応プロセスの創成やその反応機構の解明に大きく寄与すると期待される。
(2)DBD援用型ICPマイクロプラズマの基礎と応用 DBDの援用により、微小化したICPの発生に成功した。TEMPの課題とされていた熱電子の温度過敏性にともなうプラズマ制御の困難さに対し、DBDが温度に依存しない、かつICPとは独立した僅かな電力の増減で補助電子供給を行えた事から、これを克服できたと言える。また、発生させたDBDEMPの診断を行うことでプロセス選択の基準となる各種プラズマパラメータを得た。
(3)クライオマイクロプラズマの基礎 室温以下のガス温度をもつ"クライオプラズマ"の創製、ガス温度をパラメータとするプラズマの創製、および、低温におけるプラズマパターンの変化、とりわけ自己組織化の発見、など、従来の(1)熱プラズマ(数千K-)、(2)低温プラズマ(数百K-)に続く、(3)第3の温度領域、すなわち、室温以下の低温領域(80-300K)におけるプラズマ("クライオプラズマ")の科学技術の創成の第一歩を実現したものであり、"マイクロプラズマ"のもつ環境適応性の容易さを表したものである。
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Research Products
(4 results)
