2004 Fiscal Year Annual Research Report
光近接場によるマイクロプラズマ中励起種の表面近傍挙動のミクロ観察
| Project/Area Number |
15075204
|
|---|
| Research Institution | University of Yamanashi |
|---|
Principal Investigator |
櫻井 彪 山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 教授 (00092841)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
堀 裕和 山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 教授 (10165574)
秋津 哲也 山梨大学, 大学院・医学工学総合研究部, 教授 (70159333)
|
|---|
| Keywords | マイクロ、バリアー放電 / エヴァネッセント波分光法 / 準安定励起原子 / 壁電位・壁電荷 / 電気光学結晶 / レーザー偏光分析法 / 殺菌・滅菌 / 高気圧放電特性 |
|---|
| Research Abstract |
本研究は「プラズマをマイクロスケールでみる」をテーマにプラズマミクロ観察の新たな領域を切り開くことを第一目標とし、これらのミクロ観察技術をこれから発展が予想される「マイクロプラズマに適用し、診断し、マイクロプラズマ新領域開発」を第二目標としている。昨年度はクロスビーム型レーザー誘起エヴァネッセント波モード蛍光法や電気光学結晶を用いた壁電位の実時間測定が可能であることを示した。今年度はこれらを発展させて以下の研究を行った。
1 ガラスセルバリアー放電管にクロスビーム型レーザー誘起エヴァネッセント波モード蛍光法を適用し、準安定励起種の誘電体壁での信号を観測した。プラズマ励起種での初めてのドップラーフリー型非対称信号であり、定量的見積もりのためS/Nの改善を目指している。
2 電気光学結晶を誘電体とした低気圧バリアー放電装置にレーザー偏光解析法を適用し、帯電により壁電位の時間・場所依存性の実時間測定の安定度改善を行い、解析した。さらに、電気光学結晶としてKDP, KTPやBSOを用いて比較検討し、マイクロ放電に対してはBSO結晶が適していることを明確にした。
3 実際のプラズマディスプレイパネルにBSO結晶を適用し、壁電位測定の予備実験を行った。現システムでの帯電の壁電位測定限界は約0.5Vであり、充分な感度が得られた。
4 バリアー放電による大気圧での一様放電を可能とし、医療用滅菌・殺菌の装置を開発した。
5 エキシマー真空紫外光源用のマイクロバリアー放電を開発し、約20気圧までの高気圧領域における放電、発光特性を明確にし、この装置の高気圧動作特性の優れていることを示した。
6 ポーラスシリコンや金属微粒子を用いた光-プラズモン相互作用を利用したマクロプラズマの予備実験を開始した。
|
