2004 Fiscal Year Annual Research Report
3次元計測にもとづくプラズマミクロ反応場の動的挙動の解析
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15075206
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| Research Institution | Kyoto University |
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Principal Investigator |
橘 邦英 京都大学, 工学研究科, 教授 (40027925)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
白藤 立 京都大学, 国際融合創造センター, 助教授 (10235757)
中村 敏浩 京都大学, 工学研究科, 講師 (90293886)
久保 寔 京都大学, 工学研究科, 助手 (80089127)
酒井 道 京都大学, 工学研究科, 助手 (30362445)
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| Keywords | マイクロプラズマ / プラズマ診断 / レーザー分光法 / プラズマディスプレイパネル / 紫外線発光効率 / 大気圧プラズマ / 誘電体バリヤ放電 / プラズマプロセス |
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| Research Abstract |
本研究では、各種の分光学的手法を駆使して、サブミリメートルサイズのマイクロプラズマ中の励起粒子や反応活性種の時空間における動的挙動を解析し、それぞれの応用の目的に応じたプラズマ制御の指針を確立することを目的に研究を進めている。
昨年度からの継続テーマとして、プラズマディスプレイパネル(PDP)の単一放電セル内のマイクロ放電プラズマの3次元的挙動を観測しているが、今年度は、セラミックシート圧膜積層技術によってバリヤリブ内に維持電極を設けた対向放電型の放電セル構造を実現し、そのパネルを用いて、プラズマ中の励起Xe原子の時空間変化のダイナミックスを測定した。その結果、この新構造のセルでは紫外線発光効率が2倍以上改善できることが示された。
他方、マイクロプラズマを2次元のアレイ状に集積することによって、大気圧付近の高気圧下でも大面積で均一なプラズマの生成することができる方式を開発してきたが、そのプラズマ診断の実験を進めて通常の平行平板型誘電体バリヤ放電におけるプラズマ特性と比較した。その過程で、従来のレーザー分光法に加えて、新しい診断技術としてミリ波領域のマイクロ波を用いた透過法を確立し、電子密度やその時間変化を精密に測定することに成功した。その結果、我々の新方式のプラズマ源では励起粒子の密度や電子密度が通常の方式に比べて1桁以上大きく、種々の材料プロセスに応用すれば高い性能が期待できることがわかった。現在、それを用いた薄膜形成や表面処理技術の開発を進めている。また、ミリ波とプラズマの相互作用を逆に利用して、マイクロプラズマを用いた各種のマイクロ波制御デバイスのアイデアを検証している。
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Research Products
(6 results)
