2007 Fiscal Year Annual Research Report
パルスパワー技術を用いたマイクロプラズマの発生とその制御
| Project/Area Number |
15075207
|
|---|
| Research Institution | Kumamoto University |
|---|
Principal Investigator |
秋山 秀典 Kumamoto University, 大学院・自然科学研究科, 教授 (50126827)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
勝木 淳 熊本大学, バイオエレクトリクス研究センター, 教授 (80233758)
浪平 隆男 熊本大学, バイオエレクトリクス研究センター, 准教授 (40315289)
|
|---|
| Keywords | プラズマ・核融合 / プラズマ加工 / 環境技術 |
|---|
| Research Abstract |
本研究目的は、これまでのプラズマ科学で取り扱われてきたパラメータ領域とは異なり、ミクロな空間で、高密度・高温のプラズマをパルスパワー技術を用いて生成する技術開発である。微小空間への電気エネルギーの高効率伝送及び高効率注入のためのパルスパワー技術開発、及びパルスパワー発生装置の超短パルス化を進め、高気圧気体や液体等高密度媒質中でのマイクロプラズマ生成を行う。今年度は、次世代半導体リソグラフィ用極端紫外(EUV)光源、マイクロプラズマジェット、超臨界流体中プラズマ生成、水中プラズマによるアオコ処理の研究を行った。得られた成果は下記のようである。
1.レーザー光で生成された錫プラズマにパルスパワーを印加することにより、空間的に安定なEUV光が放射される。このEUV光放射機構は、従来からよく知られているプラズマのZ-ピンチ現象によっていることが分かった。
2.大気圧空気によるペン型の直流マイクロプラズマジェット生成を行い、平均放電電流が閾値を越えると、パルスモードの放電から連続モードに変わることが分かった。
3.超臨界二酸化炭素中での絶縁破壊特性の極性効果を調べ、気体から液体、また気体から超臨界流体への移行領域において両極性共に密度を変数とした場合の絶破壊電圧の特性が大きく変化することが分かった。
4.アオコ水をストリーマ放電プラズマ処理すると、アオコの細胞内にある気泡が破壊され、アオコが水底に沈降していくことが分かった。
|
