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2007 Fiscal Year Annual Research Report

三次元積層型プロセッサチップを用いた超高性能並列処理システム

Research Project

Project/Area Number 15106006
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

小柳 光正  Tohoku University, 大学院・工学研究科, 教授 (60205531)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 羽根 一博  東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50164893)
寒川 誠二  東北大学, 流体科学研究所, 教授 (30323108)
田中 徹  東北大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (40417382)
福島 誉史  東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (10374969)
Keywords三次元積層型プロセッサ / マルチポート共有メモリ / 三次元積層化技術 / ウェーハ貼り合わせ / 光インターコネクション / 光導波路 / 並列処理システム / 高速データ転送
Research Abstract

本研究の核となるのは、三次元積層構造をもつ共有メモリとそれを搭載した三次元積層型プロセッサおよびそれらを光インターコネクションで接続した共有メモリシステムである。このシステムにおいては、三次元積層型共有メモリはノード共有メモリとして働き、複数の共有メモリユニットを光インターコネクションで接続した共有メモリシステムは、ネットワーク共有メモリとして働く。このようなノード共有メモリとネットワーク共有メモリの基本動作を確認するために、テストチップおよびテストモジュールの試作を行なう。平成19年度は、前年度に引き続いて、より大規模で高性能のプロセッサチップとメモリチップを積層するために、チップ-ウェーハ張り合わせ方式の三次元集積化技術(スーパーチップインテグレーション技術)の確立を行った。この技術を用いることにより、外部(半導体ファンドリー・メーカー)で試作したチップを多層に積層することができるようになるので、自作のチップよりは大規模で高性能のチップを積層した三次元積層型プロセッサ・テストチップの作製が可能となる。実際に、外部で試作したチップに、低温でタングステン貫通ビア(TSV:Through Si Via)を形成して積層することが可能となった。また、三次元積層型プロセッサ・テストチップの設計に関しては、これまでのプロセッサの構成を改良して、並列プロセッサのアーキテクチャーがアプリケーションに応じて、SIMD型からMIMD型に動的に変化する構成を採用し、設計結果をFPGA(Field Programmable Array)に実装してシステム性能の評価を行った。その結果、固定アーキテクチャーを採用した場合に比べて性能が20〜30%改善されることがわかった。光インターコネクション技術に関しては、光導波路を搭載したインターポーザー基板に発光・受光素子を埋め込んだテストモジュールを試作した。

  • Research Products

    (13 results)

All 2008 2007 Other

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 2 results) Presentation (10 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] New Three-Dimensional Integration Technology Based on Reconfigured Wafer-on-Wafer Bonding Technique2007

    • Author(s)
      Takafumi Fukushima
    • Journal Title

      IEEE International Electron Devices Meeting

      Pages: 985-988

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Novel Optical/Electrical Pringted Circuit Board with Polynorbornene Optical Waveguide2007

    • Author(s)
      Makoto Fujiwara
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.46

      Pages: 2395-2400

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 自己組織化ウエーハ張り合わせによる三次元集積化技術2008

    • Author(s)
      福島 誉史
    • Organizer
      応用物理学会シリコンテクノロジー分科会多層配線システム研究委員会(共催:電子情報通信学会、シリコン材料・デバイス研究会)(SDM)
    • Place of Presentation
      機械振興会館、東京
    • Year and Date
      2008-02-08
  • [Presentation] New Reconfigurable Memory Architecture for Parallel Image Processing LSI with Three-Dimensional Structure2007

    • Author(s)
      Shigeo Kodama
    • Organizer
      The 2007 International Conference on Solid State Device and Materials
    • Place of Presentation
      Tsukuba
    • Year and Date
      20070918-21
  • [Presentation] Passive Optical Alignment with High Accuracy for Low-Loss Optical Interposer2007

    • Author(s)
      Makoto Fujiwara
    • Organizer
      The 2007 International Conference on Solid State Device and Materials
    • Place of Presentation
      Tsukuba
    • Year and Date
      20070918-21
  • [Presentation] Tungsten Through-Si Via(TSV)Technology for Three-Dimensional LSIs2007

    • Author(s)
      Hirokazu Kikuchi
    • Organizer
      The 2007 International Conference on Solid State Device and Materials
    • Place of Presentation
      Tsukuba
    • Year and Date
      20070918-21
  • [Presentation] 三次元実装技術2007

    • Author(s)
      福島 誉史
    • Organizer
      エレクトロニクス実装学会/材料技術委員会公開研究会
    • Place of Presentation
      東京、国立オリンピック記念青少年総合センター
    • Year and Date
      2007-11-29
  • [Presentation] Chip-to-Wafer Stacking for 3D Integration with TSV2007

    • Author(s)
      Takafumi Fukushima
    • Organizer
      1st International IEEE Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • Place of Presentation
      Tokyo, Univ. of Tokyo
    • Year and Date
      2007-11-09
  • [Presentation] Thermal Issues of 3D ICs2007

    • Author(s)
      Takafumi Fukushima
    • Organizer
      Workshop on Driving the future of interconnect in 3D: Thermal and Design Issues in 3D ICs
    • Place of Presentation
      Albany, New York, USA
    • Year and Date
      2007-10-11
  • [Presentation] Three-Dimensional Super-Chip Integration Technology Using a New Self Assembly Technique2007

    • Author(s)
      Mitsumasa Koyanagi
    • Organizer
      IEEE "3D System Integration" Workshop
    • Place of Presentation
      Munich, Germany
    • Year and Date
      2007-10-01
  • [Presentation] 3D Integration Technology Based on Chip-to-Wafer Bonding with Through-Si Vias(TSV)2007

    • Author(s)
      Takafumi Fukushima
    • Organizer
      2nd 3DIntegration by Low-temperature Bonding Technology
    • Place of Presentation
      Tokyo, Univ. of Tokyo
    • Year and Date
      2007-09-18
  • [Presentation] Self-Assembly Process for Chip-to-Wafer Three-Dimensional Integration2007

    • Author(s)
      Takafumi Fukushima
    • Organizer
      The 57th Electronic Components and Technology Conference(ECTC)
    • Place of Presentation
      Reno, Nevada, USA
    • Year and Date
      2007-05-31
  • [Remarks]

    • URL

      http://www.sd.mech.tohoku.ac.jp/

URL: 

Published: 2010-02-04   Modified: 2016-04-21  

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