2003 Fiscal Year Annual Research Report

3次元X線分析顕微鏡の開発と実環境下でのマイクロ〜ナノ解析

Research Project

Project/Area Number	15350048
Research Institution	Osaka City University
Principal Investigator	辻幸一大阪市立大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (30241566)
Keywords	微小部 / 蛍光X線分析 / 元素分布 / マッピング / 元素分析
Research Abstract	15年度の目標は第一に微小部蛍光X線分析装置の実験装置を組み立てることであったが、平成15年10月までには一応の装置の組み立てが終了した。この装置にはまだ日本では使用例が少ない「X線ポリキャピラリーレンズ」を利用した。これは、微細なガラス管を数10万本以上束ね、1つのX線集光レンズとして成形したものであり、X線の取り込み角度を大きく取れるため、X線を効率良く利用でき、かつ微小領域に集光することが可能となる。X線ポリキャピラリーと細孔付きカンチレバーを有するAFMユニットを設計・購入し、現有のX線発生装置の架台に取り付ける。CCDカメラ、試料ステージ、X線検出器などを配置した。まず、このX線レンズの特性を評価する実験を行った。直径10ミクロンのタングステンワイヤーを3次元的にパソコンにより制御可能な試料ステージに取り付け、ワイヤーからの蛍光X線強度を測定することにより評価した。その結果、焦点位置において約50ミクロンであり、焦点から離れるに従い、ビーム径も広がることが分かった。このように、X線レンズは非常に試料-レンズ間の距離依存性が強いことが明らかとなった。デモンストレーションとしてキノアと呼ばれる1mm程度の種子の内部の元素分布の測定を行った。蛍光X線は大気圧下で非破壊的に測定できるので、この特徴を生かして成長過程の種子、及び、芽や根の内部の元素分布(K,Cl,Fe,Cu,など)を測定した。この結果は昨年のTXRF2003国際会議でポスター発表し、以下のように、ベストポスター賞を受賞した。 TXRF2003 Best Poster Award(The 10th International Conference on Total Reflection X-Ray Fluorescence Analysis) "Development of Micro X-ray Fluorescence Analysis Instrument using Polycapillary X-ray Lens and its Application" by T.Emoto, Y.Sato, K.Tsuji, X.Ding(2003年9月17日、淡路夢舞台国際会議場)

Research Products

(6 results)

All Other

All Publications (6 results)

[Publications] K.Tsuji, F.Delalieux: "Feasibility study of 3 dimensional XRF spectrometry using μ-x-ray beam under grazing-exit conditions"Spectrochim.Acta B. 58. 2233-2238 (2003)
[Publications] T.Emoto, Y.Sato, Y.Konishi, X.Ding, K.Tsuji: "Development and applications of a grazing exit micro x-ray fluorescence (GE-μ-XRF) instrument using a polycapillary x-ray lens"Spectrochim.Acta B. (印刷中). (2004)
[Publications] 辻幸一: "斜出射X線分析-EPMAとXRFへの応用"ぶんせき. 338. 83-88 (2003)
[Publications] 辻幸一, 早川慎二郎, 米谷紀嗣, 米澤義朗: "X線マイクロビームを用いるナノメーターレベルでの深さ方向分析"ナノテクノロジー総合支援プロジェクトSpring-8研究成果報告書. vol.2. 151-152 (2003)
[Publications] 辻幸一, 早川慎二郎: "微小部X線分析"理学電機ジャーナル. (印刷中). (2004)
[Publications] K.Tsuji, J.Injuk, R.E.Van Grieken: "X-Ray Spectrometry : Recent Technological Advances"John Wiley & Sons, Ltd. 603 (2004)

2003 Fiscal Year Annual Research Report

3次元X線分析顕微鏡の開発と実環境下でのマイクロ〜ナノ解析

Principal Investigator

辻 幸一 大阪市立大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (30241566)

Research Products

[Publications] K.Tsuji, F.Delalieux: "Feasibility study of 3 dimensional XRF spectrometry using μ-x-ray beam under grazing-exit conditions"Spectrochim.Acta B. 58. 2233-2238 (2003)

[Publications] T.Emoto, Y.Sato, Y.Konishi, X.Ding, K.Tsuji: "Development and applications of a grazing exit micro x-ray fluorescence (GE-μ-XRF) instrument using a polycapillary x-ray lens"Spectrochim.Acta B. (印刷中). (2004)

[Publications] 辻 幸一: "斜出射X線分析-EPMAとXRFへの応用"ぶんせき. 338. 83-88 (2003)

[Publications] 辻 幸一, 早川 慎二郎, 米谷 紀嗣, 米澤 義朗: "X線マイクロビームを用いるナノメーターレベルでの深さ方向分析"ナノテクノロジー総合支援プロジェクトSpring-8研究成果報告書. vol.2. 151-152 (2003)

[Publications] 辻 幸一, 早川 慎二郎: "微小部X線分析"理学電機ジャーナル. (印刷中). (2004)

[Publications] K.Tsuji, J.Injuk, R.E.Van Grieken: "X-Ray Spectrometry : Recent Technological Advances"John Wiley & Sons, Ltd. 603 (2004)

辻幸一大阪市立大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (30241566)

[Publications] 辻幸一: "斜出射X線分析-EPMAとXRFへの応用"ぶんせき. 338. 83-88 (2003)

[Publications] 辻幸一, 早川慎二郎, 米谷紀嗣, 米澤義朗: "X線マイクロビームを用いるナノメーターレベルでの深さ方向分析"ナノテクノロジー総合支援プロジェクトSpring-8研究成果報告書. vol.2. 151-152 (2003)

[Publications] 辻幸一, 早川慎二郎: "微小部X線分析"理学電機ジャーナル. (印刷中). (2004)